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Tech 19 20
Notes
技術專文
TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED
VOL.39
廠務季刊
URL.http://nfjournal/
防微杜漸–ECP/B.S區環境IPA全面改善及管理機制
ECP/B.S. Area IPA total solution and management

文│林瑞昆│竹科廠務三部│

關鍵詞 / Keywords 摘要

異丙醇 / IPA 隨著製程演進，製程對環境氣膠微汙染控制(AMC)品質要求更嚴格，以ECP/B.S.為例，環
外氣空調箱 / MAU 境異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)濃度控制目標值再下降75%，ECP/B.S.區IPA主要來源為外氣
濾網箱 / Filter Box 空調箱(Make-up Air Unit, MAU)引入，約佔70%，其次為ECP/B.S.相鄰區域的影響，約占30
%。2019年廠務為控制ECP/B.S.區環境IPA，環境TOC濾網費用占44%，廢棄物704噸，面對更
嚴格的環境IPA規格及運轉費用的沉重壓力，本文將探討符合製程環境要求又兼顧運轉費用之
改善建議。

1. 前言

異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)為常見之溶劑，普遍用於機台清潔與晶圓清洗製程，已有許多案例證實IPA對於電化學
電鍍(ECP)製程之晶邊良率具有極大的影響。隨著製程演進，製程對環境IPA要求更為嚴格，ECP/B.S.區環境IPA環境異丙醇
(Isopropyl Alcohol, IPA)濃度控制目標值再下降75%。廠務AMC濾網Y2019費用比例，MAU定期更換濾網佔30%，設備定
期更換化學濾網佔26%，其中無塵室環境TOC濾網費用占44%，廢棄物704噸，如 圖1所示。

Routine MAU
30%
T/S Ceiling
44%

Routine Tool
26%

圖1、2019年300mm廠務濾網用量分析

林瑞昆 J.K.Lin
國立台北科技大學冷凍空調研究所畢業。
興趣 : 唱歌、電影及旅遊

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