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圖18、濾網箱安裝高容量TOC濾網 27 8 18 29 10
濾網箱安裝位置如 圖18，圖19為濾網箱過濾前後比較 ，濾網箱出口IPA/Acetone<5ug/m 維持46天，圖20為ECP區
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MA經濾網箱過濾後環境及機台46天內無更換濾網。
圖19、區域型濾網箱出口<5ug/m ，持續46天 圖20、區域型濾網箱導入後ECP環境及FI無更換濾網
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如 圖21為TOC濾網出廠再生後，回廠安裝於濾網箱測試結果，約30天~45天，IPA>5ug/m 。
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圖21、安裝TOC再生型濾網，濾網箱入/出口IPA
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