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Tech 29 20
Notes
技術專文
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如 圖22位置1為MAU安裝筒式TOC濾網，約8days，MAU出口IPA>5ug/m ，如 圖23所示。
圖22、TOC濾網安裝位置
圖23、安裝筒式TOC濾網，MAU出口IPA
區域型濾網箱與MAU TOC Filter「單台」運轉費用比較，MAU 8天更換1次筒式TOC濾網，區域型濾網箱30天更換1次
TOC再生型濾網，區域型濾網箱可節省濾網費用較MAU減少67%，廢棄物減量28.3噸，減少92.2%。
5. 結論
ECP/B.S.區IPA主要來源70%為外氣，30%由內部其他區透過相鄰隔間自動門及AMHS軌道開口/Ceiling層及sub fab/
Divider的開孔氣密污染。內部透過隔間氣密檢查及管理機制，高架地板洞板覆蓋率100%，正壓管控/壓差/Door Alarm管
理，外部來源由濾網箱過濾，ECP/B.S.區達到全面防護。
ECP/B.S.區環境IPA規格下降75%，勢必會導致TOC濾網更換更頻繁，面對嚴格的規格與運轉費用的壓力，未來將針對
環境TOC濾網再生取代一次性TOC濾網展開評估及TOC濾網自動化再生系統，期望達到符合環境嚴格的規格，又可減少運
轉費用及廢棄物減量目標。
參考文獻
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