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ACC AMC 監控 55 56 57 58
建置項目 即時偵測 濾網防護 早期應變
障礙克服 LIT區環境監控 Inline監控回傳 Inline監控點
+ + +
ACC Inlet監控 濾網效能 機台位置
+ + +
ACC Outlet監控 程式計算 濃度分布
目標成果 機台內AMC即時監控 濾網效率即時檢測 降低impact時間
圖6、ACC AMC監控期望達到即時偵測、濾網防護、早期應變的目標
Penthouse
Outside Air, AMC > ppb
Dry coil
MAU
FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU
1
1 ENV AMC Monitor 3
2 Local Filter Monitor(ACC inlet)
2
3 Charcoal Filter Monitor(ACC outlet)
圖7、黃光區ACC及機台完整設置及AMC監控佈點
ACC常暴露在濃度稍高於環境的濾網效率進行把關外，若
發生異常時，亦可優先針對效率殘值較低的濾網進行更換
來達到濾網防護的功能。
此外在早期應變方面，應當以立即防堵為首要工作，
若能減少影響時間則可將產能損失降到最低。在偌大的無
塵室裡，AMC微汙染物看不見、摸不著，只能依靠手持儀
器數值告知可能方向及位置，此過程往往耗費大量時間及
人力。利用廣布的採樣點，結合成一張濃度分布圖，利用
濃度的細微變化，便能在短時間內判斷漏源位置，來達到
即早應變的功能，如 圖9所示。
圖8、濾網效能曲線圖，圖為Local Filter針對苯甲過濾之效能曲線
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