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Tech 55 56
Notes
技術專文
，除了可降低外氣條件或CAS切換機對Scanner的影響外 ，也防止該區機台因PM過程中機台產生的微汙染物影響Lens。
[4]
[5]
至於各ACC入口處則使用手持儀器進行人力巡檢，確認有機物濃度是否正常 。
此外濾網與零件相同，皆受使用年限的限制，濾網吸附飽和後將喪失過濾效能，若無法在效能降低前更換濾網，機台
將受環境AMC汙染 。如何有效確認供應Lens的潔淨空氣不受AMC汙染將是我們本研究改善的重點。
[6]
圖4、ACC(Air Control Cabinet)示意圖，內部安裝Charcoal Filter
1 AMC sensor Monitor(NH3/TA/TOC).
2 Local Filter.
3 Charcoal Filter.
4 Clean Air Supply.
圖5、CAS系統供應ACC潔淨空氣示意圖，風管內設有AMC採樣點
3. 研究方法 表1、設定ACC Filter outlet測項濃度及濾網效率
Item Spec
ACC擺放於黃光區2F，既有的AMC採樣點設置在環境 TOC NH3 TA
，以往當黃光區2F環境AMC讀值偏高時除確認外氣是否異 Local Filter outlet concentration <12ug/m 3 <1ppb <1 ppb
常外，另外必須藉由手持儀器現場確認是否有漏源。在
troubleshooting的過程中，若環境已受汙染，那ACC內部 另外針對濾網效率，目前依據OI規定以time base計算
濾網效率如何?進入Scanner內的潔淨空氣AMC品質是否正 更換周期為一年，容差為30天。依據ITRI提供之濾網性能
常?往往都到是否影響產品良率才能得知。 曲線，以甲苯為例，如 圖8所示，以高濃度9.12ppm測試
根據以上情況，廠務工程師率先與設備工程師合作， 濾網，以初始效率95.3%降至90.0%，約經過1260分鐘，
希望能以即時偵測、濾網防護以及早期應變三個方向進行 計算吸附量約為191,520ppb*Hr，若以黃光區2F TOC濃度
改善，目標及預期成果如 圖6所示。依照與Scanner設備 約20~30ppb，換算濾網壽命約為9,576~6,384Hr。故若該
區環境常因PM等因素造成環境TOC濃度常常偏高至30ppb
談定alarm標準，如 表1所示，主要測項為TA、NH3及TOC
以上，濾網使用效率不到8,760Hr將低於90%，即Lens亦有
三種，採樣點設置在Local Filter後，若數值達到alarm設定
可能受到環境AMC異常汙染。
，除了SCADA產生Alarm警報外，立即傳送簡訊給廠務值
班及設備工程師確認機況是否正常來達到即時偵測的目的 故在濾網防護部分，利用每次Inline的讀值來計算濾網
吸附量，可顯示濾網效率殘值，如此一來，可針對部分
，完整黃光區機台架構及AMC佈點位置如 圖7所示。
61 62 63 64 65 66
71 72 73 74 75 76
81 82 83 84 85 86
91 92 93 94 95 96
