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在了解膠羽成因後，利用直交平衡實驗設計表，將 75ppm無循環且為原液添加量為一次全量4.8kg添加，會 53 54 55 56
CR168原液落料添加參數當變數，以實際混酸桶槽實驗並 因界面活性劑瞬間高濃度導致膠羽產生，故變更既有混酸
在桶底架設回歸反射型光纖感測器偵測管路變化，由實驗 落料程序如 圖7並配合黃光測試成功(LIT PO2比BSL減少
方法(1)~(8)結果發現，當Motor轉數過慢或原液單次添加 1.2ea)。
量過多時，在混酸落料程序中，桶底管路即會觀察到膠羽
表4、落料程序直交平衡實驗結果
產生，因膠羽導致管路透光度改變，光纖感測器偵測到的
紅光反射量變少，感測器滅燈且讀值下降至0~100。而在 NO Motor轉數 原液添加量 光纖感測器顯示 桶底管路狀態
1 Level(-1) Level(-1) 滅燈(0~100) 有膠羽
實驗方法(9)分4次批次添加及Motor循環轉數5000rpm落 2 Level(-1) Level(0) 滅燈(0~100) 有膠羽
料參數中，落料時觀察桶底管路為澄清且無膠羽狀態，因 3 Level(-1) Level(1) 滅燈(0~100) 有膠羽
4 Level(0) Level(-1) 滅燈(0~100) 有膠羽
紅光反射量不受管路透光度影響，感測器亮燈且讀值維持 5 Level(0) Level(0) 滅燈(0~100) 有膠羽
9999，如 圖6顯示。根據 表4得知，實驗(9)為混酸落料最 6 Level(0) Level(1) 滅燈(0~100) 有膠羽
7 Level(1) Level(-1) 滅燈(0~100) 有膠羽
適化條件。 8 Level(1) Level(0) 滅燈(0~100) 有膠羽
綜合以上實驗結果，因現況CR168原液落料前NH OH 9 Level(1) Level(1) 亮燈(9999) 無膠羽
4

4. 結果與分析

由3-1膠羽成因實驗及 圖5可得知，CR168原液在落料
至NH OH 75ppm，過程因本身界面活性劑瞬間高濃度導
4
致活性劑分子間的吸引力而聚集形成膠羽，在實驗組原液
添加前未攪拌NH OH 75ppm的情況下即會產生大量膠羽
4
，對照組原液添加前攪拌NH OH 75ppm@500rpm則為澄
4
清狀態，如 圖5，將其靜置一天後結果仍相同，對照組為
澄清且無膠羽析出現象，根據此實驗結果，若是在CR168
原液落料過程中可先均勻攪拌NH OH 75ppm，快速降低
4 (改善前) (改善後)
原液添加時的界面活性劑濃度則可有效避免膠羽產生。 混酸不均勻產生膠羽 混酸均勻無膠羽
回歸型反射光纖感測器滅燈 回歸型反射光纖感測器亮燈
偵測值 : 0-100(發出警報) 偵測值 : 9999

圖6、回歸反射型光纖感測器偵測落料時桶底管路變化

0.5hr 2hrs 3hrs
As is
75ppm落料 CR168原液落料 短距循環 粗濾循環 細濾循環
470kg 4.8kg 5000rpm 5000rpm 5000rpm

原液落料時
75ppm不循環

15mins 3mins 3mins 3mins 3mins 0.5hr 2hr 3hr
To be
75ppm 落料 1st 2nd 3rd 4th 短距 粗濾 細濾
470kg 3M落料 3M落料 3M落料 3M落料 循環 循環 循環
1.2kg 1.2kg 1.2kg 1.2kg 5000rpm 5000rpm 5000rpm

3M批次落料過程持續
短距循環75ppm@5000rpm

圖7、變更既有混酸程序

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機台一個建議定期保養週期，確保化學品循環過濾次數能
恢復至正常水位後再執行下一次的保養。
目前DCM的計算，係建立於設備端的化學品需求流量
為一固定值的假設，故目前僅適用於設備端需求流量較為
穩定的化學品。未來若將廠務端供應機台的出口流量計即
時數據，導入DCM的計算程式中，相信可更廣泛地適用在
各種DU化學品的循環過濾次數計算。

參考文獻

[1] 曾恒毅，2019，因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統
運轉策略。廠務季刊，Vol: 33。
[2] 徐銘宗、江宜臻、謝欣容，2013，先進半導體廠化學品供應系統
及微粒子控制。廠務季刊，Vol: 10。

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