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5. 結論
Mode, REM)及動態型精算模式(Dynamic Calculation
用於時序密度需求較高的線上Defect比對。實際應用的結
Mode, DCM)兩種新型的計算模式，針對桶裝化學品供應
果顯示，REM確實可用於某些化學品在跨廠區大方向上概
系統(Drum Unit, DU)的循環過濾次數進行計算。REM以每
略的比對，但若需評估短時間內化學品需求頻率對於供應
日桶裝化學品的使用量作為計算基礎，可用於跨廠區相同
品質的影響，還是需透過DCM的計算結果，才可提供較為
合理的說明。此外，本研究也透過DCM的模擬，提供線上
系統的循環過濾次數概略性比對 ; 而DCM則是使用固定時
70
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66
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機台一個建議定期保養週期，確保化學品循環過濾次數能 61 52 63 54 65 56 3.1.2 試車 67 58 • MTBF(Mean Time Between Failure平均失效間隔) : 規定的工作環境條件下，開始工作到出現第一個故障的時間的平 69 60 本研究提出了概略型估算模式(Rough Estimation 間內化學品總需求秒數作為計算基礎，因計算頻率高，適
恢復至正常水位後再執行下一次的保養。 均值。MTBF越長，表示可靠性越高
ASRS+DHL各單元安裝完成後，最終還需進行72hrs連續運轉測試(俗稱燒機測試)，測試須包含所有ASRS運送路徑，
目前DCM的計算，係建立於設備端的化學品需求流量
共5條如 圖9，其目的為確保各單元距離感測誤差皆已調整精確，測試過程需同時考慮真實性及安全性，實桶內注滿純水
為一固定值的假設，故目前僅適用於設備端需求流量較為
取代化學品，避免測試過程異常洩漏導致系統損壞。測試結果共計完成了1,422次傳送，在檢視所有紀錄後確認沒有重大
穩定的化學品。未來若將廠務端供應機台的出口流量計即
異常，才算完成運轉前試車，72hrs連續運轉測試其重點如下 :
時數據，導入DCM的計算程式中，相信可更廣泛地適用在
• 棧板種類越多越好，避免運轉後sensor些微誤差造成系統停止
各種DU化學品的循環過濾次數計算。
• 過程中需連續運轉中間若有任何異常需重新開始
參考文獻 • 測試時所有運轉路徑
[1] 曾恒毅，2019，因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統
運轉策略。廠務季刊，Vol: 33。 上層 C a u s tic A c i d
D
D
[2] 徐銘宗、江宜臻、謝欣容，2013，先進半導體廠化學品供應系統 U p p e r H L U p p e r H L
及微粒子控制。廠務季刊，Vol: 10。 R G V O . 5
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R G V O . 3
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A c i d a c k C a u s tic a c k
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C r a n e O . 2 C r a n e O . 1
下層 鹼倉 酸倉
C a u s tic
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A c i d L o w e r H L
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L o w e r H L
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R G V O . 4 R G V O . 2
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A c i d a c k C a u s tic a c k
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C r a n e O . 2 C r a n e O . 1
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M a n u a l M a n u a l
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P o r t R G V O . 1 P o r t
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A c i d a c k C a u s tic a c k
R
① 由酸倉經Crane，RGV出庫至上/下層DHL
② 完成後再由DHL經RGV，Crane入庫至酸倉
C r a n e O . 1 C r a n e O . 2
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由酸/鹼倉經Crane，RGV出庫Manual Port後
③
自動從Manual Port經RGV，Crane入庫至酸/鹼倉
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R G V O . 2 R G V O . 3 R G V O . 1 R G V O . 4 R G V O . 5
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④ 由鹼倉經Crane，RGV出庫至上/下層DHL
⑤ 完成後再由DHL經RGV，Crane入庫至鹼倉
A c i d A c i d M a n u a l C a u s tic C a u s tic
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L o w e r H L U p p e r H L P o r t L o w e r H L U p p e r H L
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路徑 路徑 路徑 路徑 路徑 ※ 所有的路徑皆可單獨運作，且入庫存放為全棚存放
① ② ③ ④ ⑤
3.2.6 ASRS系統online狀態下異常無警報 4. 結果與分析
圖9、72小時運轉測試路徑模擬圖
ASRS系統狀態可分3種：①手動÷由人員手動操作 ② ASRS+DHL系統運轉啟用至今。透過分析DHL運轉
3.2 運轉 自動÷系統全自動 ③online÷人員介入處理中，需人為下 KPI，找出關鍵警報，如 表2，並逐一克服改善前6大問題
指令，無法全自動運轉。初期人員維護系統時復歸時皆未 ，有效的將異常發生率從運轉初期的11.4%降至1%，MTTR
系統正式開始投入化學品裝載運轉，陸續發現6大問題，與設計部及承商共同完成改善。
切至正確之自動狀態，故與廠商討論將online狀態改成異 從2.5降至0.21hrs/次，MTBF也從51提升至224hrs，有效提
常狀態，並發出警報，以提醒管理者系統已進入異常處理 升了系統可靠度。
3.2.1 運轉資訊不足
模式。 此外，透過大數據分析，也能看出自動倉儲對於桶裝
運轉初期即發現運轉資訊不足，只有紀錄crane的傳輸資訊如 圖10，諸如RGV、Load cell、到站時間等等紀錄不足， 化學品進料到退桶所節省的工時，如 表3，自動倉儲不僅
也無法從報表得知運轉表現。為此我們將ASRS資料彙整上傳至台積內部資料處理系統，再將資料轉換成ASRS+DHL 大幅節省了庫房操作員入庫/出庫/領料的動作，從ASRS直
operation index，如 圖11，利用以下3個KPI指標來了解運轉健康狀況。 接將桶裝化學品傳輸進入DRU的工作，也讓棧板工作時間
• 異常警報率 : 異常次數/傳送次數，來了解系統健康度 從原本60分鐘大幅降低至只需要花費20分鐘，整體傳輸時
間節省了67%。
• MTTR(Mean Time To Repair平均修復時間) : 從出現故障到恢復中間的這段時間，MTTR越短表示嚴重失效行為越少
71 72 73 74 75 76 FACILITY JOURNAL 1 2 2 0 2 0 77 78 79 80
5. 結論 15P7成功導入了ASRS+DHL模式，改變了半導體廠化
學品物流運作邏輯，大幅減少了人力輸送所需的時間。目
經過一年多的努力，廠務終於建構出ASRS+DHL化學
前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統，惟有機化學
品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安
品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成，
裝/試車/運轉，各個階段的使用者經驗，得出許多寶貴的
仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS，期望
智慧結晶。整理如下：
有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功
① 系統安裝： 於廠區的即時回饋和設計部的快速反應，讓問題迎刃而解
• 與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min ，也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上，避免重蹈覆轍。
期許這些經驗傳承，能讓既有廠區降低轉型所需面對的未
• DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm
知風險，建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流
• 對照式sensor安裝 系統。
• 帶狀式leak sensor
• manual port自動門安裝 參考文獻
② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量，及早發現運轉問 [1] 呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園
。2018年10月1日，取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s
題，及早調整。 gTm.htm
[2] 自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科，http://wiki.mbal
③ 運轉階段 : 共有6項改善，皆已列入標準設計。 ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。
[3] 智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化，DIGITIMES
• 運轉資訊不足 : 建立運轉KPI 企劃2013。
• 定位sensor調整÷提早於試車階段驗證
• 定位sensor誤作動÷增加集光罩
• DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪
• 棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時
• ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報
，提醒管理者已進入半自動操作
81 82 83 84 85 86 87 88 89 90
91 92 93 94 95 96 97 98 99 100
