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           5.  結論
               本研究提出了概略型估算模式(Rough Estimation
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           Mode, REM)及動態型精算模式(Dynamic Calculation
                                                             用於時序密度需求較高的線上Defect比對。實際應用的結
           Mode, DCM)兩種新型的計算模式，針對桶裝化學品供應
                                                             果顯示，REM確實可用於某些化學品在跨廠區大方向上概
           系統(Drum Unit, DU)的循環過濾次數進行計算。REM以每
                                                             略的比對，但若需評估短時間內化學品需求頻率對於供應
           日桶裝化學品的使用量作為計算基礎，可用於跨廠區相同
                                                             品質的影響，還是需透過DCM的計算結果，才可提供較為
           系統的循環過濾次數概略性比對 ; 而DCM則是使用固定時
                                                             合理的說明。此外，本研究也透過DCM的模擬，提供線上
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                                                                                                   Notes
                                                                                                   技術專文
 機台一個建議定期保養週期，確保化學品循環過濾次數能        單動力滾輪                                 雙動力滾輪(中間有連桿)
 恢復至正常水位後再執行下一次的保養。
 目前DCM的計算，係建立於設備端的化學品需求流量
 為一固定值的假設，故目前僅適用於設備端需求流量較為
 穩定的化學品。未來若將廠務端供應機台的出口流量計即
 時數據，導入DCM的計算程式中，相信可更廣泛地適用在
 各種DU化學品的循環過濾次數計算。
 參考文獻
                                                    圖14、DHL動力滾輪
 [1]    曾恒毅，2019，因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統
 運轉策略。廠務季刊，Vol: 33。
 [2]    徐銘宗、江宜臻、謝欣容，2013，先進半導體廠化學品供應系統
 及微粒子控制。廠務季刊，Vol: 10。



















                                            圖15、ASRS異常 : 膠膜絮造成sensor誤作動


           3.2.6  ASRS系統online狀態下異常無警報                       4.  結果與分析

               ASRS系統狀態可分3種：①手動÷由人員手動操作 ②                        ASRS+DHL系統運轉啟用至今。透過分析DHL運轉
           自動÷系統全自動 ③online÷人員介入處理中，需人為下                     KPI，找出關鍵警報，如 表2，並逐一克服改善前6大問題
           指令，無法全自動運轉。初期人員維護系統時復歸時皆未                         ，有效的將異常發生率從運轉初期的11.4%降至1%，MTTR
           切至正確之自動狀態，故與廠商討論將online狀態改成異                      從2.5降至0.21hrs/次，MTBF也從51提升至224hrs，有效提
           常狀態，並發出警報，以提醒管理者系統已進入異常處理                         升了系統可靠度。
           模式。                                                   此外，透過大數據分析，也能看出自動倉儲對於桶裝
                                                             化學品進料到退桶所節省的工時，如 表3，自動倉儲不僅
                                                             大幅節省了庫房操作員入庫/出庫/領料的動作，從ASRS直
                                                             接將桶裝化學品傳輸進入DRU的工作，也讓棧板工作時間
                                                             從原本60分鐘大幅降低至只需要花費20分鐘，整體傳輸時
                                                             間節省了67%。



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 5.  結論  15P7成功導入了ASRS+DHL模式，改變了半導體廠化
 學品物流運作邏輯，大幅減少了人力輸送所需的時間。目
 經過一年多的努力，廠務終於建構出ASRS+DHL化學
 前各式酸、鹼類化學品已經完全導入此系統，惟有機化學
 品物流新標準。廠務在最先進的N5/N7新廠區藉由收集安
 品(solvent) 礙於系統防爆設計規畫及法規檢討尚未完成，
 裝/試車/運轉，各個階段的使用者經驗，得出許多寶貴的
 仍需人力搬運上機。未來展望繼續開發防爆型ASRS，期望
 智慧結晶。整理如下：
 有朝一日有機化學品也能達成全自動化倉儲。本專案歸功
 ① 系統安裝：  於廠區的即時回饋和設計部的快速反應，讓問題迎刃而解
   •  與DHL傳輸的RGV馬達傳送速度改為5m/min  ，也讓新廠區來得及站在巨人的肩膀上，避免重蹈覆轍。
 期許這些經驗傳承，能讓既有廠區降低轉型所需面對的未
   •  DHL與RGV距離增加free roller使距離小於30cm
 知風險，建立信心開始發展新世代的桶裝化學品高速物流
   •  對照式sensor安裝  系統。
   •  帶狀式leak sensor

   •  manual port自動門安裝  參考文獻

 ② 試車階段 : 增加測試棧板種類與數量，及早發現運轉問  [1]    呂明山(2018)。工業4.0時代來臨∶機械工業4.0。科技大觀園
 。2018年10月1日，取自https://scitechvista.nat.gov.tw/c/s
 題，及早調整。  gTm.htm
 [2]    自動化立體倉儲的優越性-MBA智库百科，http://wiki.mbal
 ③ 運轉階段 : 共有6項改善，皆已列入標準設計。  ib.com/zh-tw/自動化立體倉儲的優越性。
 [3]    智慧物流與倉儲專輯-RFID讓倉儲系統全面透明化，DIGITIMES
   •  運轉資訊不足 : 建立運轉KPI  企劃2013。
   •  定位sensor調整÷提早於試車階段驗證

   •  定位sensor誤作動÷增加集光罩

   •  DRU棧板傳送卡板÷DRU改雙動力滾輪
   •  棧板膠膜干擾÷增設異常警報延時

   •  ASRS系統online狀態下異常無警報÷增設異常警報
 ，提醒管理者已進入半自動操作






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