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表3、各種物料系統面臨的分析需求與時機
                 材料          樣品種類           分析需求                                          時機
                 水           原水             金屬離子、有機不純物、尿素                                 水源、回收水
                 Water       超純水            超微量的金屬離子(ppt, ppq)、有機污染物、尿素、Particle          系統處理效率、UF outlet
                 化學品         酸              有機污染物(不易分解的碳化物或高分子聚合物)、Particle               新材料/系統、定期保養、
                 Chemical    鹼              微量的金屬離子、有機污染物、Particle                        系統持續改善
                             有機溶劑           微量的金屬離子、難溶性有機污染物(高分子或聚合物)、Particle
                 研磨液         原液直供(ON)       粒徑分佈、Large particle counts、添加劑                新SDS系統參數調整、製程效率異常、
                 Slurry      混酸型(OM)                                                      系統持續改善
                             A type(沉降&過濾)
                             B type(Aging)
                 製程氣體        大宗氣體           有機不純物、陰陽離子、金屬不純物(non-CQC items)               新系統、跨廠區backup
                 Gas         特殊氣體           氣體不純物、H2O、金屬不純物、有機不純物                         原物料品質、異常分析
                 過濾器/純化器     化學品及有機溶劑       微量的金屬離子、有機化合物、Particle、結構、成分組成                新廠商/材料評估、異常分析、
                 (Filter/Purifier)  研磨液     LPC、PSD、結構、成分組成                               定期保養、系統持續改善
                             氣體             成分組成、結構
                             空氣/AMC         酸、鹼、有機污染物(捕集率、outgassing)、Particle、結構、成分組成
                 廠務系統材料      塑材(PFA、PTFE、   材料成分、金屬離子、聚合不完全的有機污染物(塑化劑、未鍵結之單               新廠商/材料評估、故障分析、
                             PVDF、PP)       體)、脫模劑、物理特性、表面特性(平整度、表面電位、親疏水性)               baseline收集、建立材料規格
                             鋼材             材料成分、物理特性、表面特性(平整度)
                 廢棄物處理       廢水             有害金屬離子、揮發性有機物、奈米粒子、全氟化合物、新興污染物                處理效率、定期監測、系統持續改善
                             空氣             重金屬、硫化物、
                             廢棄物            未知有害物質、製程副產物、成分鑑定


                供酸的條件，是要上線實測才能定案，先進製程應將此視為                         3.1.6  廠務系統材料
                商業機密，這絕不是廠商說了算。
                                                                       製程用的物料幾乎都是經由中央供應系統傳送至生產
                3.1.4  製程氣體Gas                                     設備，廠務的系統材料不外乎是塑材和鋼材兩大類，塑材
                                                                   一般用於液態物料的傳送系統，如水、化學品、研磨液，
                    氣體是另一項與產品接觸的重要物料，有大宗氣體(bulk
                                                                   主要塑材成分有聚四氟乙烯(PFA、PTFE)、聚偏二氟乙烯
                gas)與特殊氣體(specialty gas)，前者在供氣系統純化器後有
                                                                   (polyvinylidene fluoride, PVDF)、聚丙烯(Polypropylene,
                CQC線上監測把關，但廠區間並沒有CQC的分析比對，而
                                                                   PP)；鋼材用於氣體或有機溶劑系統主要是SUS316，這些材
                CQC監測項目除外的其他不純物(酸/鹼/有機物)也沒有監測機
                                                                   料用作所有系統的管路、閥件、幫浦、濾材。隨著使用時間
                制。而特殊氣體除廠商CoA外，幾乎毫無監測機制，加上國
                                                                   增加，這些閥件、管材與與化學品、氣體接觸的表面，是否
                內氣體分析能力也很有限，每每發生問題時都是由廠商送回
                                                                   還是維持與新品一樣的品質?還是開始老化、龜裂、剝離出碎
                原廠分析，其結果可想而知。所幸，特殊氣體供應都是單一
                                                                   片造成系統污染?失效的問題可以預知和預防嗎?為什麼有的
                鋼瓶對應部分機台而非全面。建立特殊氣體分析能力有其必
                                                                   使用期限未到就出問題了?另外，來自不同製造商的相同材料
                要性，因特氣種類繁多，屬性又各不相同，分析上雖然無法
                                                                   品質是否一樣?在一次展覽會中詢問廠商關於這些閥件、管材
                含蓋每一種氣體，但可針對重要氣體著手，例如 : 化學蝕刻
                                                                   從原料、加工到成品如何確認品質?答案都是耐壓、測漏測
                氣體(腐蝕性) HCl、HBr、HF、Cl 2 等，一旦開始分析就會有數
                                                                   試，至於材料的成分及不純物的問題好像不被關注。
                據差異，供應商也會更加重視品質，同時也可要求供應商在
                台灣建立第三公正分析單位(3rd party)。                           3.1.7  廢棄物處理

                3.1.5  過濾器Filter/純化器Purifier                           在廢水的分析部分，聯合國斯德哥爾摩公約2019對全
                                                                   氟辛酸、其鹽類及相關化合物等(perfluorooctanoic acid
                    特別將此項目從廠務材料中獨立出來，因為它用在所有
                                                                   (PFOA), its salts and PFOA-related compounds，以下以
                廠務供應的流體系統裡，包括水、化學品、研磨液、氣體、
                                                                   PFOA代表)實施禁令。歐盟REACH法規限制禁令亦有針對
                甚至生產環境空氣，而其中化學品的filter又是重中之重，因
                                                                   PFOA之禁用規定，於2020年七月起生效。全氟/多氟烷基物
                為部分化學品還在受不純物影響，filter在化學品供酸系統中
                                                                   質(per-and polyfluorinated alkyl substances, PFAS) 便成為
                扮演極重要角色，而且越先進製程對filter的依賴性越高，建
                                                                   近年來大家關注的問題，對於放流水中PFAS的標準要求越來
                立filter的分析能力，了解各類filter的特性，將對未來供酸系
                                                                   愈嚴格，此外，對於一些尚未被各種管制標準所列管，且當
                統如何選對filter?正確使用filter?這對先進製程非常重要。
                                                                   其在環境中達到一定濃度時，有潛在可能危害環境生態及水
                                                                   生生物之化學品和其他物質，所謂「新興污染物(Emerging



                                                                                             FACILITY JOURNAL        09  2021  49
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