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圖6、結構補強前葉輪振動頻譜量測 圖9、結構補強前後馬達振動頻譜量測比較

4.2.2 結構補強後，再經由輕微動平衡調整，機台振動
振動值列印如 表2，馬達及葉輪振動頻譜顯示，振幅值有
明顯大幅降低，馬達及葉輪振動頻譜請見 圖7、圖8。 結構補
強前後之頻譜比較圖，請見 圖9、圖10，其主要振動頻率1倍
葉輪轉速頻率之振幅量已明顯降低。

圖10、結構補強前後風車振動頻譜量測比較
表2、結構補強後振動列印

測點 振幅(mm/sec, RMS) 5. 結論
1 馬達自由端水平向 1.76
2 馬達自由端垂直向 2.18 風機長期運轉下，結構剛性及其強度絕對有弱化之趨勢，
3 馬達自由端軸向 2.75
4 馬達皮帶輪端水平向 1.42 這對風機運轉下之耐震性及轉動元件之壽命也會有降低之影響。
5 馬達皮帶輪端垂直向 1.87 本案例顯示經由補強風機結構，可以達成下述目標 :
6 馬達皮帶輪端軸向 2.78
7 葉輪皮帶輪端水平向 2.26 ① 避免結構強度弱化造成之額外負載力作用於軸承上，延長
8 葉輪皮帶輪端垂直向 1.32
9 葉輪皮帶輪端軸向 2.45 軸承壽命。
10 葉輪端水平向 1.51 ② 在相同製程產生葉輪結晶狀況下，由於耐震力強化，可延
11 葉輪端垂直向 1.22
12 葉輪端軸向 2.12 長風機使用週期，避免影響製程生產及增加維修人力。
③ 因為原本結構設計造成之馬達振動過大現象，其振動有明
顯之改善。
④ 葉輪動平衡處理將更為方便及有效率。

參考文獻
[01] 張智能，台積電廠務季刊Vol.37/技術專文/轉動設備預知保養智慧化管
理探討，2020。
圖7、結構補強後馬達振動頻譜量測 [02] 押田良輝著(沈頌文譯)，《送風機設計法》，啓學出版社，頁80-83，
1979。
[03] 陳政安，台積電廠務季刊Vol.10/新象新知/仿生科技-製程排氣處理風扇
自潔技術，2013。

作者介紹
陳聰 Tsung Chen
畢業於國立台灣大學工程科學及海洋工程研究所。很榮幸參
與廠務期刊的評選，誠摯感謝評選委員的肯定，以及每一次
於審查會議中給予的寶貴意見，也感謝一路以來支持讓我成
長向上的所有人。
圖8、結構補強後葉輪振動頻譜量測

FACILITY JOURNAL 03 2022 17