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技術專文

考慮到人工測量時可能產生的過失誤差以及因測量方法 充導致高架地板下回風空間受限。如 圖11為地板下管路擁擠狀
而產生的系統誤差，Fab10計畫採買3D風速儀自動測量代替人 況，由於CMP區域同層地板下回風的特殊性，因管路的敷設
工飄帶法測量氣流平行度及風速。如 圖10(上)為3D風速儀推車 使得地板下有限的回風空間被進一步壓縮，導致不同流經下氣
整合示意圖，其優點在於可以減少人為測量的過失誤差，且從 流阻力出現不平衡狀態。
測量原理上降低系統誤差，提高測量精度、準確度及效率。
如 圖10(下)為3D風速儀現場測量後系統自動繪製的三維流場示
意圖，其中箭頭所指方向表示流線流向，箭頭長短表示風速大
小。理論上，只要將潔淨室空間模型輸入到軟體，並現場測量
各點位，即可獲得整個潔淨室的三維流場分佈，為AMC等污
染物溯源及防治工作提供重要的方向。

圖11、CMP高架地板下管路擁擠狀況

如 圖12所示為潔淨室不同流態下氣流路徑示意圖，其中
左側為正常Downflow流態時氣流流徑示意圖(活塞流)，氣流垂
直經過操作區經過高架地板返回到回風道，利於污染物及PD
抑制。右側為異常Disturbance紊態時氣流流徑示意圖，各種
管路產生的沿程阻力增加了各流徑下氣流阻力的不平衡度，使
得氣流愈加流向阻力最小路徑(橫向風逐步形成)，經現場飄帶
法環測，部分區域氣流平行度不滿足≤14°，而橫向風的產生會
圖片間距
使得原本應被氣流帶入到地板以下的Particle被揚起，從而間
接影響潔淨室的潔淨等級(Class1，顆粒數≤25ea@ft3)。
根據現場環境參數的測量資料，結合流體力學原理，決
定在兩側回風道之間新增回風豎井。如 圖13所示為CMP新增
1
回風豎井前後layout對比圖，其中左圖為改造前，右圖為計畫
2
3.6m
7 6 5 4 3 2.4m 改造設計圖。計畫通過新增回風豎井來減小CMP區域最不利
1.2m
回風路徑長度進而縮減不同回風路徑下的阻力不平衡度。

圖10、3D風速儀推車Demo示意圖

3.3 精準圍獵之「氣流組織優化三板斧」
3.3.1 「三板斧」之回風豎井-減法篇

對通過優化調節潔淨室寬度來提升氣流組織，我們在
這裡通過一個案例來說明。CMP區域highlight部分區域機台
Non-release。經現場勘察檢測確定原因為潔淨室後期不斷擴

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