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TSMC/ Facility Published
圖 5：SPOES 在不同壓力下的 SiCl 4 全頻譜分析結果
4.2 SPOES 對品質異常 / 正常 SiCl 鋼瓶的辨別力測試
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在確認好 SPOES 的實驗操作參數之後，即進入本次 3 月份在 15A 廠區發生品質異常事件中，和供應到線
研究的重頭戲，確認 SPOES 對於正常與異常品質之 上造成污染之鋼瓶同批號的另支鋼瓶。如前所述，鋼
SiCl 4 鋼瓶的辨別力。品質正常的鋼瓶，本研究採用今 瓶污染發生的過程通常發生在氣體分裝充填階段，故
年 1 月 3 號於 15P6 廠區發生供應品質異常事件後， 每一支受污染的鋼瓶都是單一事件，所以當初選用此
當時換下來的保留鋼瓶。因事發當下，設備機台端 異常鋼瓶時，也不確定其是否受到污染，但幸運地經
OES 測到數值已從異常值降回原本的基線水準，顯示 測試後，確實發現內部含有大量 N 2 不純物。
鋼瓶內的那一口 N 2 氣態不純物已被機台帶除，SiCl 4
氣體品質已恢復正常，故可將其視為實驗中品質正常
對照組樣本。品質異常之鋼瓶，本研究則選用於今年
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