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TSMC/ Facility Published

結論 作者介紹

SiCl 4 鋼瓶品質異常事件困擾著 15B 廠務已有一段時 王紹宇 Shao-Yu Wang
間，自去年開始即投入許多的人力物力進行物料品質
Believe you can and you�re halfway
開眼技術的開發。經過一年多來的努力，目前總算 there.
小有成果，已開發出一套可辨別內含有 N 2 不純物的
SiCl 4 氣體鋼瓶的分析儀。後續預計將於 15P6 實地裝 蔣竣光 C.K. Chiang
設此套分析儀，進行現場的量測運轉測試，待正式上
The harder you work, the luckier you
線後，必然可為 SiCl 4 的供應品質增加一到強而有力 get.
的防護網。未來這套 SPOES 量測系統也有機會應用
在其他低壓液態氣體的品質監控上，為廠務氣體化學 劉俊男 Chun-Nan Liu
供應系統最後一塊品質風險缺口補上。
國立交通大學環境工程研究所博士。進
入公司即將邁入第十個年頭，回首來時
路，內心總是充滿感激。感謝一路上給
予提攜與幫助的長官和同事們。

參考文獻

01. Kang, G., An, S., Kim, K., Hong, S.,“An in
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Technology. 2019, vol: 21(6).
02. Hao, Q., Kim, P., Nam, S. K., Kang, S. Y.,
Donnelly, V. M., “Real-time monitoring of
atomic layer etching in Cl2/Ar pulsed gas,
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