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VOL.52 廠務季刊       FAB6 純水脫氣系統架構升級_翻新挑戰與經驗分享

































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                                                                                                 [02]
              圖 1：低壓時液體具更低氧氣溶解度                               圖 2：高含氮環境可使液體具更低氧氣溶解度


































              圖 3：HE-VDG 系統設計














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