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VOL.52 廠務季刊 FAB6 純水脫氣系統架構升級_翻新挑戰與經驗分享
研究方法
2.3 FAB 5 翻新經驗借鑑 3.1 FAB 6 架構及翻新設計
科學家牛頓曾說過，「如果說我看得比別人遠，那是 在 MDG 系統的硬體設計上，我們採納 FAB5 經驗計
因為我站在巨人的肩上。」，本次 MDG 的擴充工作 畫建立可獨立運轉並聯於既有 VDG 系統的外掛型設
可以順利進展也多所仰賴其他廠的翻修心得，FAB5 在 計( 圖5)，並且在產水單元序列部分由於同屬 Christ
MDG 擴充上的先行經驗給了我們許多良好的參考。舉 系統，我們也採用相同設計於 PST 桶槽出口預留點增
要點論述如下 : 設水泵送水進擴充之 MDG 系統，在產水側則設計有
追載 MGR 樹酯塔出口壓的變頻增壓水泵在一定壓力
❶ 以外掛方式擴充新建系統 控制範圍下將水送進 UV 滅菌燈、混床樹酯塔，如此
在 FAB5 進行 MDG 擴充時，為達成產線供應不中斷是 便可使整個去礦化處理單元能維持穩定克服高程差的
先將新建系統以併聯外掛方式運轉及投入，如此便可 供水壓力。此外在 3M Liqui-CelTM 脫氧膜的規劃上
避免與原系統的干涉過多影響控制及操作參數的調整。 我們採用了 3 組一串共 10 串互為並聯，設計產水量
達 380CMH 的 N+1 設計，加大設計水量及並聯分串
❷ 採用 Christ 系統架構成功運行 架構使得人員可以在不需停水下隨時切離部分膜組進
行保養及查修 ( 圖 6)，同時也參考 FAB 5 經驗讓我們
原先以目前 300mm 新廠區流程來說，純水中處理流
可以在一邊配管安裝時一邊分段低壓潤洗各串 MD 模
程主要採用先過混床樹脂後再進脫氣單元 (MDG)，但
組，大幅節省後續試運轉工期。
FAB5 亦分享其沿用 Christ 系統架構 : 先進脫氣單元
(VDG) 後再到混床樹脂的方式，水質狀態也可良好運轉。
在軟軔體的設計上，為避免再對既有系統複雜的 PLC
邏輯進行修改而產生極高的投入風險，我們採用獨立
❸ 快速上線經驗之工法學習
PLC 的架構以新擴充的 PLC 控制 MDG 運轉，並考量
另外 FAB 5 在完成 MDG 系統設置完成尚未投入前， 後段只需要 MBX 樹酯塔重要閥件有開啟使 MDG 產水
預先進行低流量 flush 幫助清洗模組並同時確認水質 時管路不蓄壓即可，在新舊系統的橋接上便設計使新
狀況，在 APM 完成管路修改直接投入系統運轉，完 PLC 透過乙太網路讀取舊系統的開閥訊號，並建立閥
全無影響水質狀況，綜上經驗，FAB6 藉由這些分享 沒開啟或異常關閉時設定為 MDG 啟動條件，如此便
有效縮短評估流程及實際施工期程。並在系統建置試 可避免蓄壓爆管的風險，並且在舊系統需先啟動完成
運轉時，能夠有更大的決心及靈活度可在原有系統不 才能啟動 MDG 新系統的架構下，在後續進行舊系統
停水狀況下投入 MDG 供應。 邏輯變更及試俥時也較為簡單，只需要關閉不再需要
運轉單元的邏輯及互鎖條件確保舊系統可正常啟動，
不需考量要新系統運轉邏輯加入到既有程式中是否會
影響運轉。
圖 5：FAB6 UPW 中處理去礦化單元架構示意圖
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