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TSMC/ Facility Published
圖 6：MDG 系統脫氧膜並聯設計 P&ID 圖
3.2 困難點與解決方案
就如同老屋翻新遠比新屋裝潢來得複雜，既存的 UPW 失，我們在試俥計畫中主要將系統切分成兩大部分 :
系統要在一邊運轉的情況下一邊進行系統的擴充及拆 硬體功能試車以及軟體控制試俥，硬體功能試俥部分
除勢必會遇到許多困難點，在這次以外掛併聯方式新 最主要是計畫藉由將產水管段連接到臨時循環回水管
建系統並投入上線的過程中，我們主要遇到的困難點 路或水溝，以手閥限流下手動啟動動力系統進行低壓
羅列如下 : 產水試俥，確認水質可達標準後再逐步開啟產水總閥
投入至線上。軟體部分試俥則是透過現今新 PLC 支援
❶ 需要在舊系統持續供應下不影響水質的進行新系統 透過乙太網路撈取資料的功能，讓我們可以在新 PLC
試俥及上線 聯入相同網域後撈取既有 PLC 狀態點建立模擬試俥環
境去 off-line 比對修改的邏輯有無問題，這使得在實
由於產線端對於穩定供應的壓力，既設廠區在導入新
際導入時出現邏輯錯誤的風險可以有效降低，也讓自
系統時最大的困難就是在不停止舊系統運轉下讓新系
動控制導入試俥時間可以大幅縮短至非歲修時段便可
統同步試俥上線完成取代，因此新系統如果是計畫採
完成。
用外掛方式建立者通常都會離線運轉循環至水質正常
後才投入上線。有鑑於純水系統對於水中溶氧及氣體
不純物的敏感度，脫氣單元的試俥及投入更是不容有
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