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TSMC/ Facility Published
結果分析
4.1 翻新成果
在全課同仁的通力合作下，FAB6 Line A UPW 系統脫 此外由於強供應變流程的優化，過去使用 VDG 系統
氣單元成功在 2022/07 完成翻新投入並在 2023/03 時強供復機需要同時關注閥件、塔內液位、真空系統、
APM 時完成舊有 VDG 系統停止運轉，期間產線供水 轉動設備等多種條件，使得需要有豐富經驗的人員才
水質皆維持穩定供應未造成影響，也沒有因為工程造 有辦法在約 20~30 分鐘左右執行完成。而在 MDG 控
成系統停機的事故，得以證明前述對應三大風險的解 制邏輯方面，改為 MDG 系統後不僅在程式控制就納
決方案有效的發揮其作用。 入了停機條件復歸自動復機的功能，強供也僅需要關
注在閥件是否正確開啟從而大幅縮減了強供時間至 10
而在完成翻新後我們主要獲得的效益是能將「維修風
分鐘內可完成，這主要拜其元件組成簡單且有經過豐
險化整為零」，如圖8 比較所示，既有的真空脫氣塔
富的 offline PLC 邏輯模擬試俥除錯所賜，除了 EMO
由於體積龐大導致只能放置戶外也難以有冗餘設計，
按鈕外其餘包含避免爆管後端閥件未開啟自動停機機
其上元件也受影響不僅在戶外失效機率高維護檢修也
制以及泵浦低壓保護等互鎖訊號都可以設計為訊號復
非常不容易造成了穩定供應的挑戰，在成功翻新為
歸後會自動進行復機步序，並為了方便值班人員可以
MDG 後整體系統大多放置室內環境較好也容易進行
快速進行異常狀況停復機，除了一鍵起停機按鈕外也
維護操作，且最重要的是 N+1 的脫氣模組設計使得整
加上可以轉手動強供的設計，這些改善使得我們在面
個脫氣單元不像以前無法部分停機而可以進行不停水
對製程對穩定供應需求的挑戰時能夠有更大的把握。
維護，讓整個系統的保養可以常態化、平日化。
As Was As Is
圖 8：FAB6 UPW Line A 脫氣單元翻新前後差異
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