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VOL.52 廠務季刊 新成廠化學供應系統快速驗機方法與實務

化學系統Flush標準化與驗證機制

3.1 化學系統驗機程序

圖3 為 18P6 經驗設定驗機標準化流程，第一階段 DI 成桶槽水洗。接著開始執行 CCBTU 盤面管路清洗，先
水洗桶槽過程 ( 如圖4)，第一優先清洗桶底，可以將 安裝 1nm filter 進行桶內 particle 捕集過濾，循環過
桶內重力沉降的雜質去除，避免污染物擴散整個桶 程再搭配手動閥與氣動閥各別開關 30 次，製造擾流加
槽，第二段滿液位完整清洗桶槽內襯，再來依序將常 強去除閥件與盤面內部死角髒污，再接上 UDI50 驗證
駐使用的中液位與下端板加強清洗次數，最後進行滿 particle<10ea。(FNDP001 不溶於水會分層，固不進
桶 overflow 放流 24 小時進行桶槽懸浮物質排出，完 行水洗作業，僅利用 N2 purge)

圖 3：DI 水洗桶槽標準化

圖 4：18 化學品桶槽標準化洗桶程序

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