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VOL.52 廠務季刊 新成廠化學供應系統快速驗機方法與實務

3.3 化學系統 Flush 標準化

依據 F18 制訂的 Flush 程序 ( 如表3)，主要的重點為 先去化了 HOT DI 水洗步驟，調整洗桶的步調與簡化
P1 首次啟用 Lorry out 的置換效應加速 metal 去除， 程序，縮減了 2 天進度，驅動整個 flush team 的動
以及 P2 VMB auto drain 加速 loop 置換酸，P3 導入 能去挑戰時間。
HOT DI 也有部分成效；從 18B P4 開始導入廠外預洗
統槽作業，大幅提升系統進酸前期水洗桶槽的量能， P7 在 CDU/CTU/RU 單元，除了以 HOT DI 水洗，還
也間接克服建廠期間 DI 水量受限的影響，使系統建 增加閥件切換步驟，加強去除系統內 particle 與不純
置的過程中能補足工進落後的影響。 物，另外也加入了磁浮式 pump，利用 pump 特性加
速移除微氣泡。
P5/6 因為人力與物資不足，造成建廠初期工進大幅落
後，初期成廠的進度上不如以往完備，只能從分配資
源去調整進度，讓工項能跟著 CST 計畫跟上腳步，首

表 3：化學系統 Flush 驗證程序

Category Activities P1 P2 P3 P4 P5 P6 P7
Lorry tank 廠外預洗 ▲ ● ● ●
Lorry tank 水洗 ● ● ● ● ● ● ●
Lorry
Hot DI on-site flush ▲ ● Х Х ●
Lorry out *3 ▲ ● ● ● ● ● ●

(排泡)Filter vent ● ● ● ● ● ● ●
Filter Filter 2nm 一條龍(含Tool) ● ● ● ● ● ● ●
Filter 3M犧牲打 ● ● ● ● ● ● ●
CDU tank 置換 ● ● ● ● ● ● ●
RU/CTU/CDU
CTU/CDU ▲
閥件點放HDI flush

CDU磁浮Pump ▲
VMB Hot DI flush ▲ ● Х Х ●
VMB VMB auto drain ▲ ● ● ● ● ●
GSGS(valve on/off) ▲ ● ● ● ● ● ●
驗 證 LPC<20ea@40nm/A1 port ▲ ● ● ● ● ●

● 已使用 ▲ 新導入 Х 未使用

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