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VOL.52 廠務季刊 新成廠化學供應系統快速驗機方法與實務

P1 酸 洗 過 程 中， 發 現 HF25%/HF49% 化 學 品 取 樣 依據 F18 化學品桶槽 Soaking 時間與 lorry in/out 驗
分析值不穩定，檢查桶槽 soaking 與 lorry out 置換 證管控表 ( 如表5 所示 )，歸類出酸、鹼、有機類化
過程無閥件或管路修繕，卻發現不純物金屬離子分 學品各自 soaking 所需時間，有機化學品通常不參與
析值變動劇烈，起初懷疑是 filter 上線前 soaking/ 反應只需 soaking 一天即可 lorry out，酸性化學品
flush 量能不足，造成 filter flush 靜置後，金屬離子 與金屬反應時間短約 soaking 3 天進行反應，鹼性化
leaching 影響取樣結果，層別實驗將單 filter 移除後 學品需要 soaking 5 天才能有效去除金屬不純物 HF
取樣，確認數值正常排除是 filter leaching 現象，經 系列酸洗 soaking 會生成氟系鹽類，需再以 DI 水洗
過追加 lorry out 置換也無法完全移除污染源，為解 浸泡一天後加速排出桶外。。
金屬物殘留桶內疑慮，改加 DI 滿桶泡水溶解雜質再
置換新酸，取樣發現金屬離子移除效果大幅提升，間
接證明 HF 系列化學品桶槽 soaking 過程會產生部分
金屬鹽類，此類不純物可以經由 DI 溶解再排出系統，
透過 DI soaking/lorry out 交互蹲跳，大幅縮減單純
以酸置換的時間，經過 P2/P3 廠區驗證此法有效性，
在進酸之後的 CDU flush 也得到相同驗證，隨即列入
化學桶槽 Flush 標準作業程序。

表 5：化學桶槽 Soaking 時間 & Lorry out 置換量

Module Chemical 灌充液位 灌充量(L)/車 Tank Tank Size Soaking Day QC pass (置換桶數)
25,500 17,000 A
H 2 O 2
WET 30,000 3D 3 桶 pass
25,500 17,000 B
H 2 O 2
NH 4 OH 12,750 10,500 A
WET 15,000 5D 3 桶 pass
NH 4 OH 12,750 10,500 B
25,500 10,100 A
HT-H 2 SO 4
WET 30,000 3D 3 桶 pass
25,500 10,100 B
HT-H 2 SO 4
IPA 7,000 5,400 A
WET 7,990 1D 3 桶 pass
IPA 7,000 5,400 B
Dev-1 25,500 17,000 A
LIT 30,000 5D 3 桶 pass
Dev-1 25,500 17,000 B
HF49% 12,750 7,700 A
WET 15,000 3D+水洗泡水1D 3 桶 pass
HF49% 12,750 7,700 B
HF25% 12,750 7,700 A
WET 15,000 3D+水洗泡水1D 3 桶 pass
HF25% 12,750 7,700 B
HCL 12,750 10,500 A
WET 15,000 3D 3 桶 pass
HCL 12,750 10,500 B
Thin-1 8,500 6,800 A
LIT 10,000 1D 3 桶 pass
Thin-1 8,500 6,800 B
PGMEA 8,500 5,800 A
LIT 10,000 1D 3 桶 pass
PGMEA 8,500 5,800 B
FNDP001 8,500 5,800 A
LIT 10,000 1D 3 桶 pass
FNDP001 8,500 5,800 B

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