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VOL.52 廠務季刊 新世代製程之水系統創新管理對策

4.3 新工具iFaxt管理PCW回水壓異常案例

案例一：2022/11/17 F18P6 PCW 回水壓力異常上升， 如在 PM 時誤開啟，氣體會倒灌回系統，造成管路氣
導致膨脹水箱液位上升，但系統供水溫度、回水溫度 泡現象。結合系統查詢結果以及現場確認，兩者相互
皆正常，在此情況下，透過 iFaxt 系統確認當下異常 比對，成功找到異常機台，同時間通知可能影響機台，
狀態之機台，統計該 Loop 上現有 158 台於線上供應， 達到預警作用。( 圖8)
其中兩台正於 PM 保養中，針對此結果依序詢問設備
機況，發現此機型機台 CDA 管路會銜接 PCW 供水端，

圖 8：案例一 :PCW 異常失水 trend chart

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