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TSMC/ Facility Published
案例二：2023/1/1 13:00 F18P6 PCW 回水壓力異常 另外，此兩次氣體倒灌也會影響其他機台的溫度計
上升，導致膨脹水箱液位上升，在系統供水溫度、回 e-sensor，因氣泡往高樓層機台方向走去，主機台高
水溫度皆正常情況下，透過 iFaxt 系統和現場機台端 架地板下方管路 sensor 感應處佈滿氣泡導致溫度無
確認後，鎖定當下正在異常處理之機台，機台當下狀 法正確感應，造成溫度持續升高，觸發機台警報，導
態正掛於 DACT( 異常處理 ) 中，現場發現其正使用 致停機。透過此系統也可快速列出，並同時線上監視，
CDA 管路 purge PCW 管路，大量氣泡回灌至 PCW 達到預警功能。
供水端，導致整個系統連同 Pump、板熱皆有氣泡的
蹤跡。此次先由 iFAXT 系統上選出嫌疑機台，再結合
現場確認，兩者相互配合，成功找到事發機台，同時
間通知可能影響機台，達到預警作用。( 圖9)
圖 9：案例二 :PCW 回水壓異常上升，比對 iFaxt 可快速查找機台狀態與其 FDC Chart
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