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VOL.52 廠務季刊 新世代製程之水系統創新管理對策
給未來新成廠建議總結
新成廠廠區務必根據前廠經驗傳承，站在巨人肩 以下彙整給新成廠建議重點總結，期許幫助未來廠區
膀上，複製與學習過往經驗，減少犯錯機率，以 有效因應成廠初期快速裝機並因應製程變更與配合線
F18P6 為例共計與 N5/N3/RD Fab 蒐集 84 項 lesson 上化學品大量洗淨需求，並對水系統提前提出穩定管
learnt，有 22 項無改善需求，其餘 62 項均改善完成， 理對策，順利達成穩定量產目標。( 表 10)
故 F18P6 在快速成廠過程，無發生 PCW 異常失水狀
況、放流水污水質異常狀況，UPW Day1 均將過往強
化功能上線並在功能測試階段驗證有效性，大幅提升
UPW 防禦能力。
表 10：新成廠建議重點總結
系統 Item 新成廠建議重點總結
1 事先與WET設備擬訂機台洗淨量與壓力，快速達成機台需求並且有效控制UPW負載
2 事先與GC擬訂混酸過程水量需求，避免造成日後純水瞬間水量過大與Pump負載問題
UPW
3 機台端不需加裝調壓閥定義為WET SU機型以及IMP&LIT所有機型，Day1就做對
4 根據Risk assessment，純水新增強化功能需在功能測試階段確保驗證有效性
1 針對高風險異常失水機台，Day1裝機階段要求設備做好相關防禦措施並造冊回傳留存
2 針對高風險異常氣體回灌機台，Day1即要求解離氣體管路或做好相關防禦措施並造冊回傳留存
PCW
3 針對PCW Pump出口彈性接頭安裝，於送水前量測是否在規範內，避免造成送水異常漏水
4 PCW初期送水階段，進行一次完整換水作業，有效清除管路雜質，穩定Safety filter壓差
1 事先與WET設備擬訂各項化學品洗淨總量管理機制，配合廢水回收建置狀況，逐步放寬洗淨總量
WWT 2 建廠初期，WSR來源酸雙氧水濃度低但硫酸濃度高，可使用稀釋法快速達成硫酸自給自足目標
3 建廠初期務必完成Drain to tank全檢，做好管控表與現場標示，避免Drain閥沒開或是流向錯誤
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