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TSMC/ Facility Published
4.1.2 高濃度廢酸稀釋溫升
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桶槽內預先置入 2.9m 之去離子水，以 4.1m 之 高濃度廢酸稀釋溫升因達熱交換器啟動設定溫度，因
95%(w/w) 廢酸分批加入 ( 加藥速率 :1 公升/秒，加 此熱量計算上須考量熱交換器降溫效果 ( 詳 3.4 節 )，
藥及間隔時間分別為 200 秒與 30 秒 )，最終桶槽內 經實際桶槽升溫與理論計算比較 ( 如圖 9)，隨著廢
硫酸濃度約 60%(w/w)。依據實廠測試結果 ( 如圖8) 酸量添加，理論及實際之溫度梯度逐漸放大，其一原
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桶槽溫度在前期批次加入廢酸約 0.2m 時，放熱結果 因可能為熱交換器降溫效率可能因為現場冷卻水流量
極為明顯約 0.07℃/公升至 0.08℃/公升。廢酸添加至 (25-30CMH) 影響，因此造成偏差，但理論溫度與實
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0.75m 後，達熱交換器啟動設定溫度 (78℃ )，後續 際溫度仍非常相符。
反應亦持續進熱交換器，隨著廢酸量增加，廢酸濃度
與桶槽內硫酸濃度梯度逐漸縮小，每一次之溫度波峰
逐漸降低。
圖 8：95% 廢酸稀釋溫升結果
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