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技術專文
Machine
Engineering
Data Analysis Processing
Technology
機台工程資料分析預先處理技術
機台工程資料分析預先處理概念圖 購買版權圖庫影像處理
隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務
端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機
械式元件，當產品有異常時，會發生資料不及時以及精準度不佳，無法符合需求。因此針對不同製程機台定義
需監控元素，在管路適合位置安裝數位感測器，藉由資料擷取 (DAQ) 將數位感測器採集管路供應參數，通過資
料分析系統即時回傳，再由錯誤偵測與判斷系統 (FDC) 進行監測，藉由電腦系統將數據進行即時錯誤偵測與分
析資料是否離群，透過數據分析了解機台及裝機管路狀況，達到即時及預測製程品質目的。
關鍵詞/ 資料擷取、錯誤偵測與判斷系統、壓力、溫度、流量
Keywords/ Data Acquisition (DAQ), Fault Detection and Classification (FDC), Pressure, Temperature, Flow
文│簡伯恩 張志成│新廠工程管理部│
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