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圖1、EUV Foundation組合圖與光束傳輸系統（BTS）

EUV Foundation組合圖
3 Source裝置
4 Cover plug sklffy
MB2 Source
MB1-LEFT
MB1-LEFT
3
Aluminium Cover 2
WH-LEFT Plt border
WH MB2-RIGHT
1 Aluminium Cover 4 PIT BORDER
MB1-RIGHT 4
MB1
WH-RIGHT
1 基座主體 1 1 4

1 4

光束傳輸系統（BTS）

2 IF鋼構部分
2

2

前言 製作部份也由傳統加工，改由電 針對高剛性的需求，更是對設計與
腦數值控制（Computer Numerical 安裝人員提出更高的挑戰，目前經
Control, CNC）加工工具機製造， 歷過這麼多已安裝完成之基座，每
以往基座（Foundation）標準安裝 已達現場安裝順利符合需求。 一座不論在工廠製作、現場安裝、
流程，從圖面確認開始到現場放樣 安裝完量測上都有持續再進步及精
而後續之檢測（微振動、剛性、硬
安裝及完工後的檢驗需求，僅使用 進 的 空 間。EUV Foundation 各 組
度、平坦度檢測）工具等，也因規
簡單概略之水平儀、捲尺等工具， 格的增加皆需使用較精密之微振 成的配件，如 圖1 所示。
便可達到所需精度，且順利達成裝 動、剛性測試儀器，並且在儀器操
機之需求。 作者的熟練操作下使可完成檢測。

而本文所介紹之極紫外光微影 安裝量測器具部分，由傳統之捲 EUV Foundation
（Extreme Ultra-Violet, EUV） 尺、水平儀，增加了 3D 追蹤儀以 的演進
Foundation 則 不 然， 從 圖 面 確 認 及安裝制具，以縮短現場安裝量測
時間。
開始即可確認該安裝所要求高精度
規格，雖仍可使用水平儀、捲尺等 另 外，EUV Foundation 完 全 跳 脫 簡述曝光機（Scanner）Foundation
的演變過程 圖2 ：
相關工具，但因精度要求增加使現 2D 平面之設計概念，所有安裝及
場安裝難度提高且不容易符合安裝 尺寸檢測，任一個順序環節錯誤， – 投影機尺寸為以往的三倍大，
需求，因應安裝精度的增加，工廠 即可能造成安裝精度上之誤差，且 約 10 米平方變成為 30 米平

參與竹科十二 A/B 廠建 與 FAB 和 RD 合作建立新機台 擔任協崑有限公司
元 豪 廠專案至今。 士 哲 安裝的標準，在裝機手法不斷創 育 綸 專案 經理。 負責 處
負責處理 Hookup 黃 Johnny Huang 新下，及尋求更高精度的量測儀 彭 Alan Peng 理協調新竹台積電
System 現場相關業務。 器，完成了新一個世代的基座。 廠區相關工作業務。
鄧 Yuan Hao Teng

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 77