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Tech
Notes
技術專文

針對這些問題經討論進行架構更
圖 3、第一次更版 E-senor 基礎硬體主架構
新 圖3。
– 不進行機械表頭拆除，直接於 裝機工程安裝與設定 資訊技術系統
VMP 出口加裝電子式感應器，
降低拆除及安裝風險。
– 運用廠務 VMB 即有訊號傳輸迴
路，在廠務端加設 Local 伺服器，
E-sensor
在銜接至 FDC 伺服器。 (GAS/EXH/PCW)
– 藉由 VMB 傳輸路徑改變減少傳
輸 Port 數量，降低 DAQ 點數。
系統運行後又發現二個問題，因此
Gas VMP DAQ Switch VM server FDC server
進行第二次系統架構改版：
– Local 伺服器是裝機工程購買進 廠務部門系統
行安裝，但是網路系統並不是裝
機工程專業，導致後續維護，網
路更新無法同步執行。
– 為配合 VMB 分散於各處的特性， Gas VMB GAS SCADA InSQL server IPC
所以伺服器也需分區規劃數套安 (local server)
裝於現場，硬體及軟體成本昂
貴。
針對這些問題經討論進行第二次架 圖 4、第二次更版 E-senor 基礎硬體主架構
構更新 圖 4 。
裝機工程安裝與設定 資訊技術系統
– VMB 系統原本就有網路架構連接
到 VM 伺服器，經與廠務及 IT 部
門討論，藉由原 VMB「可程式邏
輯 控 制 器 」PLC (programmable
E-sensor
logic controller)，將訊號傳遞至 (GAS/EXH/PCW)
廠務氣化課 SCADA (supervisory
control and data acquisition)，
廠務 InSQL 伺服器與 IT VM 伺服
器進行連結，新增控制點數由兩 Gas VMP DAQ Switch VM server FDC server
系統原預留點或新增點執行。
廠務部門系統
– 機台安裝完成後裝機工程課將
相關資料進行圖控設定，連結
系統圖控設定
InSQL 伺服器及 VM 伺服器。

Gas VMB GAS SCADA InSQL server
結果與分析

利用 FDC 系統建置管理參數，可
連管路測壓力會由 32psig 降至約 可集合眾多機台比較數值是否離
達到兩項控管目的
29.5psig 穩定此壓力。 群及早發現異常，並從中取得有
– 利用即時資料可進行裝機管路及
二次配管路 e-sensor 偵測內壓力緊 價值得見解。
機台內部資料參數比對，達到及
接著，壓力會由 26.89psig 迅速降 圖6 為兩機台製成腔體 A/B/C 氬
早偵測目的。
至約 24psig，再緩升至 25.5psig， 氣供應壓力分析資料，不同顏色代
圖5 為機台端與二次配管路端氣體
當完成製成後 MFC 關閉後，管內 表氬氣供應壓力於機台製程腔體，
供應管路壓力圖，機台控制 He 氦
壓力回至原始狀態，實現人員對機 Tool B 生產記錄數據分析得知氬氣
氣的「質量流量控制器」(MFC) 閥
台設備及二次配管路的統一監控管
件開啟時，依據流體力學白努利原 工應壓力已離群，以及供應壓力不
理，流體的速度增加時，流體的壓 理。 穩定，製程腔體 C 供應壓力已超出
力能或位能總和將減少，機台內 – 利用 FDC 大數據資料進行分析， 同型機之標準。

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