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– 電子式感應器：依據機台不同製
圖1、二次配管路安裝電子式感測器
程需求，定義機台與廠務二次配
管路所需安裝元件及位置進行資
料收集。
機械式感測器
舊方式 廠務 機台 – 資料搜集器：藉由訊號線連接，
將 此 機 台 所 有 訊 息 傳 至「 資
二次配管路
料 搜 集 器 」(Data Acquisition,
DAQ)。
電子式感測器
– 交換器：整合各機台 DAQ 資料
新方式 廠務 機台
透過「交換器」(Switch) 將生產
二次配管路
線中各式感測器所蒐集的資料統
一整合。
– 資料整合中心：具有較高計算能
圖2、E-senor基礎硬體主架構
力電腦軟體整合伺服器，整合更
多交換器資料作為 FDC 運算基
裝機工程安裝與設定 資訊技術系統 礎資料。
– 資料判讀中心：「失效偵測與
分類系統」(Fault detection and
classification system, FDC)， 收
E-sensor 集製程機台之即時資料，將重要
(GAS/EXH/PCW)
參數及步驟，進行監控與異常偵
測。若有發生異常系統立即發抒
警訊並對產品，與機台採取適當
Gas VMP DAQ Switch VM server FDC server 應變措施，避免異常產品持續發
生。

系統建置至今經歷二次架構更新，
初期架構建置完畢施工過程發現
Gas VMP
三個問題：
– VMP 原設計為機械式表頭，安
裝時會將機械式表頭拆除改為電
前言 務系統對其控制參數使用電子式感 子式感應器，雖然 VMP 是供應
測器進行控管 圖１ ，利用電子式感 惰性氣體，但是拆除已供氣盤面
測器，遠端即時監控系統，監控供
機台及廠務供應系統針對重要參數 會有破壞 VMP 結構風險。
應系統細微的變化並透電腦系統將
皆有安裝數位感測器進行即時監控 – VMB 是一個盤面供應給許多機
數據進行分析是否離群及早發現異
已及參數預警，故障分析。二次配 台，位置分散於「次潔淨室」
常，邁入更有效生產管理來提升產
裝機管路，是連接供應端廠務系統 (Clean sub-fab)，由分散區域銜
品良率。
及使用端機台的管路工程，以往要 接至機台端 DAQ，距離及成本
求是使用機械式感測器，採取定時 可觀。
抄表或是有問題時到現場檢查，然 – DAQ 依據銜接點 Port 點數量有
而隨著產品精密度增加，在製程時 計畫方法 8CH，32CH，64CH 三種規格，
發現裝機管路的管徑，長短及所在 當 VMB/VMP 銜接回來，大部分
位置會對生產良率有細微影響，因 E-senor 基礎硬體主架構 圖2 ，依功 機台皆需使用到 64CH，成本增
此裝機管路被要求比照機台端及廠 能流程區分為五部分： 加。

成大工科所畢業。於台積電服務五年，歷 成大工管所畢業。經歷台積電 Fab 3, 4, 6, 10,
伯 恩 經廠務氣化課、裝機工程課，期待能為台 志 成 14P1, 14p2, 14P3, 15A, 15B, Wafertech 建廠
積電裝機工程貢獻一己之力，制定裝機 張 C.C. Chang 及裝機工程，以藝術品的規格執行裝機工程，
規範，提升裝機技術及品質水準。 沒有最好只有不斷精進。
簡 P.E. Chien

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 73