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Notes
技術專文

圖 2、Scanner Foundation 的演變過程

Source
4
Cover plug
skiffy
MB2 Pit
5 1 border
MB1-LEFT
WH WH MB1-LEFT 3
MB MB 鋁Cover
IF WH 5
2
MCB WH-LEFT
MB1-RIGHT
BI
MCA BI 鋁Cover
M 5 MB1-RIGHT
MB1
WH-RIGHT
AT Scanner Foundation XT & NXT Scanner Foundation EUV Foundation 組合圖
Foundation 類型
AT XT NXT NXE (EUV)

Foundation 修改過程
IF 形式修改 WH、MB、IF、Laser beam 皆修改

Foundation 製造過程
制具建模 制具建模、假組立、銑床加工

Foundation 安裝過程(使用工具)
水平儀、捲尺 3D追蹤儀、捲尺、制具、Epoxy灌漿、高空自車、CNC加工收邊地板

方。
圖 3、EUV Foundation 安裝基準點
– 剛性規範為原有兩倍，1E+08
N/m變成為2E+08 N/m。

– 增加了 光束傳輸系統(Beam
Transport System, BTS)的振動
（Vibration）與剛性的測試需
求。

– 料件製造工期增加1.5倍，35
天變成為57天。

– 安裝測試工期增加10倍，5天
變成為51天。
– (螺絲孔距、安裝水平度、面積
大小、各部件安裝相對距離)安
裝精度增加約2.5倍，±0.5mm
變成為±0.2mm。
– 安裝品質管控(QC)自檢表單約
122頁，約610點位以上需檢
測精度。
– 振動測試點位增加4倍，6點變
成為24點。
– 剛性測試點位增加13倍，9點
變成為115點。

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