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技術專文

圖7、F12P6 MAU出口IPA趨勢圖

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28
26
24
22
20
18 17.2 g/m 3 改善前 MAU出口
IPA改善前
16
62.8%
g/m 3 14
12
10
8 g/m 3
8 6.4 g/m 3 改善後
6
4
2
0
2015/10/06 19:48:00 2015/10/10 12:55:00 2015/10/16 12:45:00 2015/10/18 13:18:00 2015/10/24 16:13:00 2015/10/26 18:30:00 2015/10/27 17:47:00 2015/10/27 18:39:00 2015/10/27 19:32:00 2015/10/27 20:24:00 2015/10/31 15:04:00 2015/11/02 15:37:00 2015/11/07 13:05:00 2015/11/12 14:31:00 2015/11/19 05:41:00 2015/11/22 12:20:00 2015/11/24 12:41:00 2015/11/27 13:11:00 2015/12/01 01:28:00 2015/12/03 12:27:00 2015/12/11 10:31:00 2015/12/13 10:52

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處理技術，來進行活性碳對甲苯之
圖8、環境FFU安裝化學濾網示意圖
吸附與各處理機制的分析。其研究
用活性碳作為吸附劑，以甲苯作為
代表性吸附質，於各種入流濃度、 Penthouse
IPA
溫度及流速進行甲苯處理及探討等 FFU+Filter
溫吸附模式，以了解活性碳吸附甲
苯之處理特性。針對流速的研究， MAU
Truss DCC
提出當流速較低時污染物滯留時間
越長，易促使活性碳之吸附能力提 MA+RA
昇；反之，流速較大時，則會降低
活性碳之吸附能力。 FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU
ECP 九宮格
依上述兩篇文獻得知，調降濾網面 3 3
IPA>10 g/m IPA<10 g/m
風速(增加滯留時間)可增加活性碳 RA
吸附能力，一般MAU化學濾網的
設計面風速為2.5m/s，MAU需提 Clean Sub-FAB Return Air
供無塵室足夠的風量以建立無塵室
正壓，所以MAU只能有限的調降 環境FFU+ 3in1 filter
風車頻率來降低化學濾網面風速，
而不能影響到無塵室正壓的需求。
若要滿足濾網降低面風速的需求則
來增加濾網的滯留時間，例如濾網 加至10倍。滯留時間與吸附能力成
需重新設計濾網箱。
面風速由2.5m/s下降至0.5m/s， 正比，所以濾網吸附能力會是原來
增加滯留時間可增加活性碳吸附能 滯留時間增加至5倍，一道濾網增 的10倍。
力，以降低面風速及增加濾網道數 加為兩道濾網，滯留時間由5倍增

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