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圖 14、Air Washer 去除 IPA 效率

圖例 Sample Before A.W. IPA (ug/m ) 3 After A.W. IPA (ug/m ) 3 效率(%)

1 47 20.6 56.2%
Air Washer
1 2 2 37.5 22.2 40.8%
3 24 13.8 42.5%
4 7.4 3.4 54.1%
5 7.1 3.7 47.9%

表 4、增加 TOC 化學濾網壽命演進 圖16、實驗模型

增加濾網 風量 風速 總面積 單片濾網 濾網 濾網 濾網壽命
壽命方法 (CMH) (m/s) (m ) 2 面積(m ) 2 道數 片數 (倍)

原設計 12,960 2.5 1.44 0.36 1 4 1

降低風速 12,960 0.5 7.2 0.36 1 20 5

增加道數 12,960 0.5 7.2 0.36 2 40 10

圖15、區域型MAU濾網箱演進

s，濾網效率最高9 4 %，濾網
3
出口IPA最低1.4ug/m ，出口
12960CMH 12960CMH 12960CMH IPA<8ug/m ，濾網壽命6天，如
3
風速2.5m/s 風速0.5m/s 風速0.5m/s
1道濾網 1道濾網 2道濾網 圖18。
– 增加道數，雙層Cylinder Type
TOC化學濾網，濾網風速0.5m/
表5、實驗模型條件
s，濾網效率最高96%，出口IPA
3
最低1.2ug/m ，出口IPA< 8ug/
增加濾網壽命方法 實驗模型 風量(CMH) 風速(m/s) 濾網道數
3
m ，濾網壽命14天，如 圖19所
示。
原設計 單層濾網，2.3m/s 2,980 2.3 1
在降低濾網風速及增加濾網道數
降低風速 單層濾網，0.5m/s 648 0.5 1
後，可提高濾網效率及濾網壽命，
如 表6及 圖20所示。
增加道數 雙層濾網，0.5m/s 648 0.5 2

濾網再生實驗

活性碳濾網脫附再生採用熱風加熱
化學濾網，濾網風速2.3m/s，濾 不到1天，如 圖17 。
進行再生，主要脫附對象為IPA。
網效率最高59%，濾網出口IPA – 降低風速，單層Cylinder Type 先使用全新Cylinder type TOC Filter
3
3
8.8ug/m (>8ug/m )，濾網壽命 TOC化學濾網，濾網風速0.5m/ 進行一次吸附後，接著做不同脫附

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 43