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技術專文

圖10、IPA濃度降低則濾網壽命上升 圖11、濾網風速降低將提高濾網壽命

8.0 7.0
7.0 6.0
6.0
5.0
5.0
T Filter (Day) 4.0 T Filter (Day) 4.0
3.0
3.0
2.0 2.0
1.0 1.0
0.0 0.0
0 5 10 15 20 25 30 35 0 0.5 1 1.5 2 2.5 3
C IPA (ug/m ) 3 V (m/s)

圖12、提高濾網吸附IPA質量將提高濾網壽命 圖13、Cylinder Type較V Type TOC Filter壽命高

3.0 100%
2.5 Cylinder Type
95% V Type
2.0
T Filter (Day) 1.5 濾網效率 (%) 90%

1.0
85%
0.5
0.0 80%
2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 0 1 2 3 4 5 6
M IPA (g) 濾網壽命 (month)

表 2、V Type 與 Cylinder Type TOC Filter 測試 表 3、MAU 運轉參數表

濾網型式 風量 風速 測試氣體 效率<80% 測試 運轉 風量 AW AW CC1 TT CC2 MT HC TT
(CMH) (m/s) 均三甲苯 壽命(month) 機台 頻率 水量 Cond
(ug/m ) 3

Hz CMH CMH us/cm ˚C g/kg ˚C
V Type TOC Filter 3,300 2.5 400 < 1

Cylinder TOC Filter 3,300 2.5 400 6 MAU 45.5 88472 166 1.5 13.5 6.9 13.4

公式(8)得知，T Filter 與M IPA 成正比關 故需提高Air Washer換水率，將水 第三，使用高容量Cylinder type
係，壽命較高者其活性炭容量亦較 中IPA排放掉，避免IPA又揮發至空 TOC Filter並增加濾網道數，由一
高，故Cylinder Type TOC Filter活 氣中，Air Washer去除IPA效率經量 道增加至兩道濾網，20片增加至
性炭容量高於V Type TOC Filter。 測約40~55%，如 圖14 。MAU運轉 40片，濾網壽命再加倍，五倍上升
[4] 至十倍，如 表4及 圖15所示。
參數 表3 。
所以要增加MAU TOC化學濾網壽 第二，降低濾網風速，若MA風量
命，需降低IPA濃度、降低濾網風 為12,960CMH，原設計濾網風速 提升濾網壽命實驗
速、使用高容量TOC化學濾網及串 2.5m/s，風量3,240CMH，計算所 實驗目標需將MAU出口IPA降至
聯濾網。以下說明做法。 需濾網為4片，將濾網風速調降至 8ug/m 以下，以降低ECP區環境
3
第一，降低I P A濃度，I P A為親 0.5m/s，濾網風量648CMH，則所 IPA濃度。按照增加濾網壽命理論
水性，導電度低的DI水可以降低 需濾網增加至20片，濾網數量增加 來設計實驗模型 圖16 ，實驗模型條
件如 表5。
IPA，透過MAU Air Washer洗滌將 為原來的五倍，理論壽命由一倍上
IPA溶於水中，又因IPA揮發性高， 升至五倍。 – 原設計，單層Cylinder Type TOC

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