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技術專文

圖1、Local scrubber削減排放 圖2、300MM Local Scrubber Type（取自FAM 2018.01）

Utility：
CDA、O 2、 By-product：
N 2、NG NO X、CO...etc Wet Adsorption
Abated gas： 394台 1029台
(削減至10% 4% 9%
以下) Burn
Process gas： PFCs、Toxic、 Thermal Wet 3177台
PFCs、Toxic、 Corrosive、 6351台 28%
Corrosive、 LSC Flammable gas 57% Plasma
Flammable gas ......etc 277台
......etc 2%

表1、TSMC 300MM LSC SPECIFICATION O.I. (M-C00-16-03-002) 表 2、常見溫室氣體之生命期與全球暖化潛勢指數值

Gas classify 代表氣體 LSC削減能力 Greenhouse Atmospheric lifetime Global Warming Potential
Gas (yrs) (GWP 100 )
Toxic Hydride, Cl 2 , etc. DRE>99%, 或出口氣體濃度
<1 STEL CO 2 5-200 1

Flammable H 2 , SiH 4 , NH 3 , CO, etc. 出口氣體濃度<10% LEL CF 4 50,000 5,700
Pyrophoric SiH 4 , etc. 出口氣體濃度<10% LEL C 2 F 6 10,000 11,900
Corrosive NH 3 , HF, SiF 4 , Cl 2 , HBr, DRE>90%, 或出口氣體濃度 SF 6 3,200 22,200
etc. <1 STEL
3,200 10,000
C 4 F 8
PFC CF 4 , NF 3 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , SF 6 , DRE>95%, except CF 4 DRE
etc. >90% C 3 F 8 243 14,800

圖3、PFCs 90%去除效率對應溫度及流量 圖4、Burn type local scrubber構造流程圖

Treatment Waste gas
250
C 4F 8
200 C 3F 8
CHF 3
Gas flow L/min 150 SF 6 Washer Combustor
C 2F 6
CF 4
1200°C ↑
100
50

0
800 900 1000 1100 1200 1300 1400
Temperature °C

產生所需圖案(Pattern)，其全球暖 處理溫度，其中又以燃燒式Local 過高溫處理（1200℃以上）後裂
化潛勢(Global Warming Potential, scrubber發展較成熟完善。 解，再經由水洗將污染物水解／
GWP)為二氧化碳的5,700倍（以 離子化後進入液相而去除，如 圖4
100年計），穩定性極高，至少需 所示。該設備在使用端(Point-of-
燃燒式尾氣處理設備
1350℃以上對其才具削減能力， Use)藉由瓦斯與氧氣操作參數之調
(Burn type local scrubber)
業界中廣泛使用之尾氣處理設備僅 整，運用成熟的燃燒/水洗技術來
[2]
有燃燒式及電漿式 ，才可達到其 利用瓦斯燃燒產生高熱，使氣體經 分解PFCs，可達到高效率（大於

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