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技術專文

圖7、指紋區光譜 圖9、質量流量計原理說明(KEYENCE網站)

1.5
共振
流量
Absorbance 1 methane 不流動時 流動時
benzene
ammonia
0.5 HCl A B
acetone A’
isopropanol θ’
silane
0 B’
3000 2500 2000 1500 1000
Wavenumber (cm )
-1

圖8、FTIR原理

原始光強度 I 0
光源 干涉儀 被吸收後光強度 I 偵測器 吸收光譜
I 0
待測氣體

表 3、DRE 量測儀器適用比較表

儀器 原理 量測物種 偵測極限 精準度 適用性

FTIR 利用干涉儀產生干涉圖譜經傅利葉轉換成IR的光譜，由IR光 有圖譜皆 最低可到ppm 2%. ○
譜中可以得到分子吸收紅外光後之吸收光譜，和指紋區光 可偵測 (化合物種類 可適用Inlet及Outlet量測
譜作各種定性比對及定量的分析。 而異)
FTIR 氣體監 多點式氣體傅立葉轉換紅外線光譜偵測技術，將氣體偵測 有圖譜皆 最低可到ppm 2%. 僅能用於Outlet
控系統 整合於單一裝置之中，依序偵測最多達60個量測點可自行 可偵測 (化合物種類 (LSC失效，偵測器會失
ACM 150 規劃設定，提高靈活度。 而異) 準，需校正)
熱質量流量 利用不銹鋼毛細管與電阻溫度計測量氣體導熱係數來換算 CF 4 /NF 3 不適用 5% 僅能測量純氣
計PN 100 質量流量。 (但須純氣)
科氏力質量 直接或間接測量在旋轉管道中流動的流體所產生的科氏力 CF 4 /NF 3 不適用 5% 僅能測量純氣
流量計 就可以測得質量流量。 (但須純氣)
電化學式氣 Chamber內裝電解液與雙電極，當特定氣體進入時，會透 NF 3 3.6~40 ppm 3%. 僅能用於Outlet
體偵測器 過薄膜而吸收，內部產生氧化或還原，可得到電子理變化 AsH 3 18~200 ppb (LSC失效，偵測器會失
Midas 換算成濃度。 準，需校正)
電化學式氣 Chamber內裝電解液與雙電極，當特定氣體進入時，會透 CF 4 0~999 ppm 3%. 僅能用於Outlet
體偵測器 過薄膜而吸收，內部產生氧化或還原，可得到電子理變化 (LSC失效，偵測器會失
TS 5100 換算成濃度。 準，需校正)
電化學式氣 Chamber內裝電解液與雙電極，當特定氣體進入時，會透 H 2 0~100 %LEL 3%. 僅能用於Outlet
體偵測器 過薄膜而吸收，內部產生氧化或還原，可得到電子理變化 NH 3 0~100 %LEL (LSC失效，偵測器會失
GTD 5000 換算成濃度。 準，需校正)

扭曲，物體的重量與速度互成比例 氣體偵測器原理為Chamber內裝電 以上三種儀器類型對於L o cal
關係，因此透過量測扭曲量，便可 解液與雙電極，當特定氣體進入 scrubber DRE量測之適用性評估
以知道其質量流量。
時，會透過薄膜而吸收，內部產生 如 表3所示，僅FTIR類型符合量測
氧化或還原，可得到電子流變化換 需求，其中ACM-150光鏡長度固
電化學式氣體偵測器
(Gas Detector) 算成濃度。 定，導致量測濃度受限，無法符合

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