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中科十五廠六期燃燒水洗式洗滌塔 攝影 / 陳昭文
文獻探討 (Pyrophoric)、腐蝕性(Corrosive) 其可於大氣中存留50,000年如 表
及全氟碳化物(PFCs)，並詳細定 2，故此五大類中最難以削減即為
義Local scrubber削減能力如 表1 ， PFCs，其亦是最穩定之溫室氣體。
Local scrubber削減規範 Banks等人 [1] 研究指出全氟碳化物
中C-F鍵結能量穩定，具有很強之 全氟碳化物90%去除效率所需處理
根據3 0 0 mm規範將待處理之 溫度如 圖3，CF 4 為PFCs中最穩定
紅外線吸收力與熱穩定，要完全去
製程尾氣分為毒性(Tox ic)、 除四氟化碳(CF 4 )尾氣處理設備燃 之化合物，用於蝕刻(Etching) 製
易燃性(Flammable)、發火性 燒室溫度應提高到1600℃以上， 程中移除晶圓上之薄膜，以達到
台灣大學環工所畢業，十四 B 台北科技大學能源與冷 中山大學電機系畢業。
銘 哲 廠機械課。一步一腳印，今天 仁 暉 凍空調研究所畢業，先 孟 堯 於台積電服務二十年，曾任六
比昨天更好一點，唯有不斷前 王 Z.H. Wang 前於光電廠廠務空調課 楊 Nick Yang 廠儀電課、十四 A 廠機械課，
進，才能更接近終點。 任職兩年半經驗累積。 現任十四 B 廠機械課副理。
范 Ming-Che Fan
300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 67
