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2.3. 平滑曲面法(Spline): 11 1 2 12 13 4

利用數學方程式產生一條通過一組已知點的平滑曲線，並依據這一條曲線來推估範圍內每一個定點上的屬性數值，在
運算過程中採取最小曲率的概念來進行。在平滑曲面法之空間函數，依模式不同搜尋半徑型式(Search Radius Type)，可
[9]
分為規則型(Reularized Type)及張力型(Tension Type)平滑曲面法 ，其內插法公式如下 :
n
S( y)= T y) ∑ λ R( )r
(
+
k= 0 j j
th
其中，j=1,2…,N (N : 點數)， λ : 線性方程式解的係數，r : 點(x,y)到點 j 的距離。
j
j
• 規則型數學函數 :
(
T y) = a + a 2 + a 3 y
1
1 r 2 r 2 r r
R( )r = 㖋 In ( ) c − 1 + K 0 㖋 ( ) c + In ( ) 㖫 㖋
+
+
2 㖫 4 2 2
㖋
• 張力型數學函數 :
T y) = a 1
(
1 rφ
R( )r = − 㖋 In ( ) c +K (rφ ) 㖋
+
2 φ 2 2 0
其中，τ 及φ : 輸入參數；r : 以知點與未知點間距離；K : 模擬數值函數；c : 常數，為0.577215，a : 線性方程式解
2
2
i
0
的係數。
綜觀上述方法，在反距離權重法與克利金法的比較上，文獻顯示克利金法在估算數值上，呈現較佳的結果。但因權重
函數的計算較為複雜，需藉由其他相關軟體(如 : QGIS軟體)使用估算，可作為後續濃度地圖的改良之參考。故本文採用反
距離權重法作為濃度分布的估算方式。
3. 計畫方法

本研究主要是藉由無塵室內各區網格的建立，利用現有的已知數據，以反距離權重法進行各區濃度估算，將估算值與
實際量測值進行驗證。並將無塵室內各區之污染濃度以顏色分層方式呈現，標示無塵室內污染嚴重之區域。最後，搭配網
頁功能輸出，實現AMC視覺化管理模式。

3.1. 系統組織架構

藉由各廠區實驗室儀器(GC-MS)測值及現場人員巡檢資料回傳建立Data Source，再透過TSMC Domain將現場資料存
放到各廠SQL Server資料庫，並由網頁即時存取SQL資料庫取得Data，於網頁設定底圖及各格點Tag後，每日與每週分別
定時發送靜態及動態Mail，且於網頁可查詢報表。另外於各區域Tag設定OOC/OOS Spec，當廠區觸發OOC/OOS Alert後

，直接Alert Mail通知給對應窗口，如 圖3所示。

資料庫來源 分布圖建置 網頁呈現 Mail發送

調整擴散參數 網頁 Mail
P45 INSQL
Offline Tag Value
設定擴散顏色定義
P6 INSQL AMC WEBDB 可即時撈取圖檔 Auto send mail
GCMS
定時輸出圖檔Auto chart
定時Mail圖檔
P7 INSQL

1、實驗室資料(GC-MS Data) 1、FAB底圖匯入
1、靜態圖查詢 1、每日靜態發送
2、廠務人員巡檢點 2、格點對應Tag規劃
2、動態圖查詢 2、每週動態發送
(Piccaro/MiTAP/PID) 3、依各製程區匯入相對應AMC Data
圖3、組織架構流程

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