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Tech 13 4
Notes
技術專文
3.2. 網格模型建置
將無塵室各區域進行網格劃分，如 圖4所示，將各區域每條Bay位劃分成三個點位(即該bay前中後三點)，格點間採相
同距離(約為9.6公尺)，並標示實驗室連續監測點及人員巡檢點位置，作為實際資料源的參考位置，利用該點所量測之實際
數據，推測其他未進行巡檢之數據，並驗證其推估的準確性。

C-Bay B-Bay A-Bay

9.6 m

9.6 m

註 : 1~6為估算點 為實驗室連續監測點 為人員巡檢點
圖4、網格模型建置

3.3. 量測資料收集

在已知量測點的資料建立上，針對無塵室最常監測的四種污染物(TVOC, IPA, Acetone, CXF)進行收集，採用實驗室
GC-MS監測點(各區取樣頻率2~3筆Data/天)及搭配人員巡檢點(各區3~4筆Data/天)的量測數據做為已知點位，人員巡檢點
針對不同污染物選擇合適的量測儀器，其儀器量測頻率，如 表3所示。但因人員在巡檢點間需要時間移動，故每一區內量
測資料並非同一時間的量測數值，而是以該區各量測點間最接近的時間作為最後的資料呈現。

表3、常見的AMC量測技術
儀器種類 量測目標物 量測週期 量測精度
Online GC-MS 各種有機物(Ex : TVOC,IPA,Acetone,CXF) 30min ppb level
Piccaro CXF 即時 ppb level
MiTAP 各種已定義有機物(Ex : TVOC,IPA,Acetone) 5min ppb level
PID 總有機物(Ex : TVOC) 即時 ppb level

3.4. 濃度地圖建立

透過實驗室監測點及人員巡檢點的量測數據，應用反距離權重法推估其他估算點數值，即將量測的實際數據與該區對
應的網格估算點遠近距離給予相反的權重，以距離的倒數作為權重大小，距離越近權重越大，距離越遠權重越小等方式進
行濃度分布圖建置。將無塵室四種污染物(TVOC, IPA, Acetone, CXF)進行繪製，利用相對色階作為濃度分布圖圖層顏色的

基準，即由最低至最高濃度採以淺色(藍色、綠色)→黃色→橘色→紅色漸層方式呈現，如 圖5所示，顯示管理決策的優先
性，並將不同污染物給予各自所對應的濃度分層範圍。

3.5. 網頁功能輸出

網頁功能主要分為查詢功能及設定功能，查詢功能上包含線上查詢及報表查詢功能，可供人員進行進資料查詢與確認
；設定功能則可因各自廠區需求，定義相關圖層設定及輸出功能，如 圖6所示。

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