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AMC濃度分布圖透過每日Web-Mail的寄送提醒，讓Module清楚了解無塵室各區AMC分布狀況，面對AMC讀值較偏 15 6 17 8 18
高的區域，Module成立專案團隊，及早進行機台漏點查詢及改善，如 圖10所示，共同維護無塵室內環境品質，將AMC
預防勝於治療落實在無塵室環境中。
① 每日 Web Mail寄送提醒 ② 污染區加強管制 ③ 設備弟兄專案清查 & 改善
Daily Inform AMC Chart Worse tool issue FAC CAR Keep trace local area tools status
圖10、視覺化管理方式
4.5. 利用濃度分布圖改善環境實例
以蝕刻區為例，該區在濃度分布圖上呈現中度污染狀態(黃色)，當濃度分布圖Mail發送後，優先進行該區全面調查，
經確認漏源及改善後，濃度分布圖已回復至良好狀態(綠色)，如 圖11所示。
自濃度分布圖發送後，廠區OOC/OOS案件呈現明顯下降趨勢，由2~3次/月降至1次/2個月，如 圖12所示。每當有區
域濃度偏高時，蝕刻Module人員立即成立專案管理，將其納入每週改善指標，視機台洩漏造成生產環境污染為改善項目
之一，並藉由異常設備進行異常分析，訂定設備管理方案，每週自主巡檢檢查，發現問題，立即改善，如 圖13所示，使
FAC與Module在環境維護上能共互助合作，達到良好的生產環境。
< 改善前，中度污染 > < 改善中，輕微污染 > < 改善後，輕微污染 >
ETC ETC ETC
圖11、蝕刻區域污染改善
CXF Routine OOC/OOS Chart
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濃度分布圖寄送
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次數 0 OOC/OOS Case
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0
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圖12、CFX OOC/OOS Case
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