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Tech 15 6 16
Notes
技術專文
C-Bay B-Bay A-Bay
3
點位 估算值(ug/m ) 實際值(ug/m ) 3 誤差範圍(1%)
1 19.3 17.2 12.2
2 19.3 17.6 9.6
9.6 m 3 4 23.56 21.2 11.1
10.6
21.3
23.56
5 28.7 32.8 12.5
6 28.7 32.9 13
9.6 m
註 : 1~6為估算點 為實驗室連續監測點 為人員巡檢點

圖7、估算值與實際值比對

項目 傳統AMC出圖 AMC濃度分布自動化
出圖顯示

查漏時間 每人耗時約2~2.5hrs/天 每人耗時約1.7~2.2hrs/天
效益比較 1、無法快速掌握污染源區域 1、可快速掌握污染源區域，防止污染擴大
2、因查漏時間較長與污染源不準確造成多餘的濾網消耗 2、降低人員查漏時間1170hrs/年(300mm FD)
示意圖
AMC FAB 逐bay 確認 AMC 確認
Alarm 查漏 檢查 污染源 Alarm AMC 濃度分布自動化 污染源

圖8、傳統出圖V.S.濃度分布圖

4.3. 以動態濃度分布圖呈現污染改善

將每日濃度分布圖合成動態濃度分布圖，以每週動態方式，發布於網頁及Web-Mail檢視，如 圖9所示。當AMC發生
異常時，可快速了解廠區AMC濃度分布情形及每日復歸情況，並可作為定期檢討及改善追蹤方向的依據。

圖9、每週動態分布圖

4.4. 視覺化管理方式

傳統的AMC管理上，往往當無塵室有異常警報觸發時，才進行異常區域的查漏及狀況排除，常常緩不濟急。若是能
在平日各區濃度維持在正常的濃度標準間，一旦發現該區讀值有偏高狀態，立即進行污染源清查及改善，便能避免污染擴
大。

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