Page 69 - Vol.39
P. 69
53
52
54
56
55
51
EPAHF1 TOC 濃度 57 58 59 60
EPD8E1 EPAED1 EPD8C1 EPD8B1 單位 ug /m 3
EPD8F3 EPAJD3 EPD8C2 EPAEB2
EPD8E3 EPD8D4 EPD8B6
EPAEF5 EPD8E4 EPAJD5 EPAEB4
EPAHF6 EPD8E5 EPAJD6 EPD8C5 EPD8B7
EPD8F7 EPD8E6 EPD8C6
EPD8FA
圖13、手動導入機台位置呈現濃度分布圖
漏源附近
濾網更換
優先更換濾網
約1Hr
AMC 異常 值班 AMC Y
OOW/OOC 確認SCADA 濃度分布圖 通知相關單位 SCADA 是否回復 狀況解除
位置及數值
確認漏源
鎖點測量
持續觀察
簡訊發送 B/L
約0.1Hr
N
現場以portable 通知相關單位進行
現場查漏
確認漏源 機台異常排除
約0.2Hr 約1Hr
圖14、導入AMC濃度分布判斷後，可節省trouble shooting時間，使AMC異常影響時間大幅降低
5. 結論
黃光區ACC導入AMC即時監控後，簡訊發送可使現場第一線人員確認機台是否有異常，執行數月下來簡訊發送次數
已減少。另外因濾網效能可即時反應，避免濾網效率降低汙染Lens，目前亦增加總硫(TS)的監控於ACC端，此方式已準備
登錄BKM並Fan out到其他廠區。另外黃光區導入濃度分布圖判斷後，藉由濃度變化可預判環境是否有異常現象，若遭遇
異常洩漏等突發狀況，藉由濃度分布的預判可將impact機台時間縮短1~2Hr。如前面章節所述，現階段自動導入的濃度分
布可針對大環境確認AMC情況，再以手動方式導入機台位置，便可更精準監控機台AMC情況及計算汙染源位置。故目前
已與廠商合作開發以演算法方式導入濃度分布圖於SCADA內，不但可以整併機台位置與濃度分布圖，並能即時新增或修
改Inline點位更新於SCADA系統，範例如 圖15所示，更方便系統工程師維護及應用。
參考文獻
[1] Kychen，Gas sample for local filter & Charcoal，EKM
Document No. 82430.
[2] 張文龍，ASML Scanner ACC架構與溫濕度控制研究，EKM
Document No. 48770.
[3] 施文彬，Stable Air Condition to ACC，EKM Document No.
80390.
[4] 田浚致，F14 Local filter取代CAS之效益評估，EKM Document
No. 70832.
[5] 林孟學，Charcoal filter TOC measure tool，EKM Document
No. 87754.
[6] 劉興學、鄧志偉、蔡春進、李壽南，應用化學濾網去除某晶圓廠
黃光區潔淨室的氨氣，工業安全衛生月刊27，2018。
圖15、利用演算法於無塵室內呈現AMC濃度分布
61 62 63 64 65 66 FACILITY JOURNAL 09 2020 67 68 69 70
71 72 73 74 75 76 77 78 79 80
81 82 83 84 85 86 87 88 89 90
91 92 93 94 95 96 97 98 99 100
