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Tech
Notes
技術專文
耐溫不足，提高系統運轉風險，於本文中也細部分析不同型式
鼓風機(魯式/離心式)，雖然離心式鼓風機建置成本高於魯式鼓
風機，但卻可大幅降低運轉風險及維護成本，建議可選用離心
式作為未來生物系統的標準配備。
5.2 建議
因先進製程不斷更新，有機物(IPA)使用量大增，導致外排
廢水COD(化學需氧量)濃度急速攀高，主要來源為AOR & Salix
洗滌廢水。目前廠內使用IPA 相關機台因大部分為Single wafer
機台，同一槽體會加入多種chemical進行製程作業，混排到
Waste water drain增加系統處理困難度。進行有效分留後可以
提升水處理系統效能及降低外排COD。
• 源頭分流機台改機利用Drain change time將IPA獨立分離出
來提升源頭管理量能，有效改善機台複合狀態。(圖11)
• 機台內部槽體Hardware新增(新增DIW管路及有機廢水
Drain排)， Recipe修改將含IPA 有機廢水獨立收集。(圖12)
圖12、機台內部改善示意圖
參考文獻
[01] 簡琮晟，利用旁流式薄膜生物處理系統(MBR)處理光電業廢水之研究，
2018。
[02] 甯凱璘，以BioWin模擬MBR實廠處理光電廢水及評估膠體性COD對硝
化效能影響，2015。
[03] 陳國榮，污水處理廠A2O 生物處理程序去氮除磷效率之評估，2015。
[04] 盧怡君，以去官能基化二氧化鈦/單壁奈米碳管複合材料修飾玻璃碳電極
進行COD之伏安法分析，2015。
作者介紹
林佑勳 You-Shiun Lin
做好每一件重要的小事。
圖11、源頭分流機台改機示意圖
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