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Tech
Notes
技術專文

1. 前言 System)氣櫃，其中FABSTREAM III氣櫃以供應B-cylinder為
主，而BGDS氣櫃則使用於BSGS系統中。
特殊氣體供應系統的架構主要可分為兩部分，如 圖1，
FABSTREAM III的氣櫃盤面架構如 圖2所示，氣櫃盤面
分別為氣櫃(氣體鋼瓶供應設備)以及調壓盤(Valves manifold
區分為五大區：Purge gas區、氣體高壓段區、氣體低壓段
box, VMB/Valves manifold panel, VMP)，製程氣體由氣櫃供
區、Vent區、Supply gas區，其中Purge gas區的隔離閥件為
應經由調壓盤根據線上機台使用壓力調整適當壓力後供應至
DPI(Double Purge Isolation Valve)及PGI(Purge Gas Isolation
機台端。氣櫃在特殊氣體供應系統的架構中屬於核心設備，
Valve)，監控Purge gas區的壓力傳感器為PT5；氣體高壓
氣櫃盤面上的閥件可視為穩定供應品質的重要元件，其主要
段區的隔離閥件為PGI、HPV(High Pressure Vent Valve)及
的功能為隔離作用，如高壓側隔離閥(High Pressure Isolation
HPI(High Pressure Isolation Valve)，監控氣體高壓段區的壓
valve, HPI)、高壓側排放閥(High Pressure Vent valve, HPV)、
力傳感器為PT1；氣體低壓段區的隔離閥為HPI、LPV(Low
低壓側排放閥(Low Pressure Vent valve, LPV)、自動切換供
Pressure Vent Valve)及ASO(Auto Switch Over Valve)，監控
氣閥(Auto Switch Over valve, ASO)、吹淨氣體隔離閥(Purge
氣體低壓段區的壓力傳感器為PT2；Vent區的隔離閥為HPV
Gas Isolation valve, PGI)。在Purge模式，HPI為Purge gas
及LPV，監控Vent區的壓力傳感器為PT3；Supply gas區的隔
(10%He/N 2 )與Real gas(製程氣體)之間的隔離閥，其隔離功
離閥為ASO，監控Supply gas區的壓力傳感器為PT4。
能為阻隔Real gas被污染；在Standby模式，ASO為待命氣體
BGDS的氣櫃盤面架構如 圖3所示，與FABSTREAM III氣
(Standby side)與供應氣體(On-line side)之間的隔離閥，確保
櫃盤面相同，區分為五大區：Purge gas區、氣體高壓段區、
待命氣體隨時可上線供應使用。但是氣櫃閥件的隔離功能要
氣體低壓段區、Vent區、Supply gas區，其中Purge gas區的
如何搭配PT作確認?本文利用SCADA Intouch軟體撰寫script
隔離閥件為DPI、PGI、HPV及TAP(Test Access Port)，監控
程式，設定在不同情境條件下的判斷邏輯，客製化作出各閥
Purge gas區的壓力傳感器為VPT；氣體高壓段區的隔離閥件
件的功能判斷，以閥件周圍的PT作監控參考點，依據氣櫃在
為PGI、HPI及HPIa(High Pressure Isolation a Valve)，監控氣
Purge模式或Standby模式條件下，分別設定合適的警報數
體高壓段區的壓力傳感器為PT1；氣體低壓段區的隔離閥為
值，確認閥件是否確實達到隔離功能。
HPIa、LPV及ASO，監控氣體低壓段區的壓力傳感器為PT2；
Vent區的隔離閥為HPV及LPV，監控Vent區的壓力傳感器為
VPT；Supply gas區的隔離閥為ASO，監控Supply gas區的壓
力傳感器為PT4。

2.2 氣櫃閥件測漏機制

亞東氣櫃不論為FABSTREAM III氣櫃或是BGDS氣櫃，皆
可分為五大區域，各區域的分隔點皆有對應的閥件，且利用
各區域的壓力傳感器監控其壓力是否異常。
氣櫃可以針對所有的PT進行警報數值的設定，如 圖4及
圖5，可以設定不同的PT(PT1/PT2/PT4/VPT)在不同的氣櫃狀
態(Offline/Online/Purge/Standby/Manual)下，設定警報數值
圖1、特殊氣體供應系統架構
(Hi-Hi/Hi/Lo/Lo-Lo)進行壓力監控。當壓力達到氣櫃的警報數
值時，氣櫃則發出壓力警報異常，並回傳至SCADA監控系統
2. 文獻探討
告知值班人員進行異常排除動作。
2.1 氣櫃盤面架構 PT警報數值設定除了在氣櫃之外，在SCADA監控系統
也可進行設定，如 圖6。SCADA監控系統也可以針對不同
氣體鋼瓶依照鋼瓶容量大小不同，可分為B-cylinder(約
的PT(PT1/PT2/PT4/VPT)，設定警報數值(Hi-Hi/Hi/Lo/Lo-Lo)
47L)、Y-cylinder(約440L)、Tonner(約900L)，使用何種容量
進行壓力監控，而在不同氣櫃狀態(Offline/Online/Purge/
的鋼瓶則依照工廠內供應量的多寡來選擇合適的鋼瓶進行供
Standby/Manual)的警報設定，則必須由SCADA Intouch軟體
應。通常使用量大的氣體，我們稱為BSGS(Bulk Specialty Gas
撰寫Script程式設定，才能進行監控。
System)系統，在鋼瓶使用的選擇會以Y-cylinder及Tonner供
應為主。
亞東氣櫃依照氣體供應量不同，設計兩種不同的氣櫃
盤面類型：FABSTREAM III氣櫃及BGDS(Bulk Gas Dispense

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