Page 42 - Vol.44
P. 42
Tech
Notes
技術專文
2.3 氣櫃鋼瓶更換流程
亞東氣櫃內已建立自動更換鋼瓶程式，在執行更換鋼瓶
程式後，只要依照氣櫃內建的流程進行操作，即可完成更換
鋼瓶動作。如 圖7，氣櫃在Purge模式中開始進行自動更換鋼
瓶流程時，程式會先進行閥件測試，如Vent區的閥件開關測
試，及隔離閥(如PGI、HPI、HPIa等)的漏率檢查，此時PT1及
PT2皆會被Vent至底壓，確認閥件的狀態皆正常後，則開始
進行Pre-purge的流程，主要目的是利用Purge gas將氣體供
應管路吹淨，避免有Real gas殘留而導致操作人員在更換鋼
瓶過程中誤觸。完成Pre-purge後，則可以進行更換鋼瓶動
作，接著再進行鋼瓶保壓，確保鋼瓶更換後，銜接處無外漏
圖4、FABSTREAM III氣櫃壓力警報設定 的狀況。鋼瓶保壓依氣壓壓力不同，保壓的壓力也會不同。
完成保壓後，則可以開始進行Post-purge的流程，主要目的
是再利用Purge gas將氣體供應管路吹淨，避免在更換鋼瓶中
有異物或雜質進入供應管路中。完成Post-purge後，則進入
Real gas flush動作，利用Real gas將氣體供應管路進行吹淨，
避免有Purge gas殘留而導致氣體污染，影響生產。完成上述
自動化更換鋼瓶流程後，就可將氣櫃進入Standby模式，等
待鋼瓶使用。
圖5、BGDS氣櫃壓力警報設定
圖7、氣櫃鋼瓶更換流程
3. 研究方法
3.1 研究動機
壓力警報值的設定在氣櫃及SCADA上可以設定不同的
Hi/Lo數值，氣櫃的設定中可以選擇在不同狀態下是否觸發警
報，而SCADA則需由程式中撰寫。不論是氣櫃或是SCADA
的警報設定，都只能設定單一數值，但這一數值，並無法滿
足所有氣櫃狀態下進行閥件內漏或外漏的監控。如在Purge
模式中，BSGS高壓段區的PT1在保壓過程中，會因為環境
溫度的影響造成大幅度的上升或下降，在氣櫃或SCADA的
圖6、SCADA氣櫃壓力警報設定 PT1設定無法判斷閥件是否正常，保壓是否正確，如 圖8；
40
