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在Purge模式中，氣櫃低壓段區的PT2保壓過程中壓力應小 由上述的情形說明，氣櫃及SCADA目前的警報設定在正
於-10psig，若閥件異常內漏，則會造成PT2大於-10psig， 常運轉下可提供正確的警報提醒，但在其他的狀態則無法監
在氣櫃或SCADA的設定無法滿足Purge模式中的PT2警報 控異常的情形發生。若要改善問題，修改正在運轉中的氣櫃
設定，如 圖9；在氣櫃Standby模式中，若有閥件外漏或是 的PLC程式有較大的風險會影響生產，故利用SCADA新增所
HPV/LPV內漏的情形，依照目前的PT1或PT2的警報值也無法 需要壓力監控警報，依不同氣櫃狀態下，給予不同的警報設
立即發現異常，必須要壓力下降至Lo警報值才會得知，如 圖 定數值，進行有效的閥件異常監控。
10及圖11。
3.2 SCADA閥件測漏機制設定
為改善氣櫃及SCADA在Purge模式及Standby模式下，
PT1及PT2無法進行有效的監控，確認閥件是否正常，我們在
SCADA中新增四種監控機制：
① Purge模式高壓段區壓力監控
② Purge模式低壓段區壓力監控
③ Standby模式高壓段區壓力監控
④ Standby模式低壓段區壓力監控
圖8、Purge模式高壓段區保壓壓力異常 利用這四種監控機制，補足氣櫃及SCADA監控不足的
部份。
① Purge模式高壓段區壓力監控
鋼瓶更換後的外漏確認方式，除了氦測漏之外，保壓結
果也是一項重要的指標。高壓段區的PT1監控除了可以判斷
更換鋼瓶後的銜接保壓是否正常，在保壓的同時，也可以確
認高壓段區的隔離閥件，如BGDS氣櫃的PGI、HPI等閥件，
及FABSTREAM III氣櫃的PGI、HPV、HPI等閥件，是否有外漏
或是內漏的情形發生。且在戶外區的BSGS區氣櫃，受到溫度
的影響，也有伴隨PT1的保壓數值上升或下降(如 圖12)，如此
圖9、Purge模式低壓段區壓力異常
大幅度的壓力變化，無法正確判斷保壓準確性，因此我們在
SCADA新增一判斷方式，可以降低溫度造成的誤差。
圖10、Standby模式高壓段區壓力異常
圖12、戶外溫度與PT1對照圖
以BGDS氣櫃為例，BGDS氣櫃在自動保壓過程中，使用
的保壓氣體為10%He/N 2 ，氣體由Purge gas區的DPI進入，經
過PGI後達到高壓段區，穩壓一段時間後，10%He/N 2 氣體則
圖11、Standby模式低壓段區壓力異常 會充滿Purge gas區及高壓段區，接著關閉Purge gas區和高
壓段區的所有隔離閥件，並以PGI閥件為分界點開始進行保
壓動作(如 圖13)，此時Purge gas區和高壓段區所受到的外在
溫度影響相同，因此VPT和PT1的變化趨勢也會相同，故我們
利用這兩個PT進行比對確認高壓段區的保壓情形。
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