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5. 結論
舊有科技廠房經過時代變遷、系統功能演進，造成多項
系統已不適合目前供應需求。如何規劃舊有系統與新系統相互
共存便是一重要課題。舊有廠房每一個廠房空間設計皆不一
樣，且後續擴充系統架構也不同。故如何的有效應用空間、維
持舊有系統穩定度以及擷取他廠系統優點，且延續老舊供應系
統原有壽命週期等，將是值得好好關注之問題。因每一廠原先
設計理念以及供應系統廠商皆不同，故無法以同一方法如法炮
製，但最重要的精神概念皆不變。致使運轉20年以上廠區期
許能夠再持續運轉下一個20年。

參考文獻
圖19、MDU強供器修改前後對照圖
[01] 特氣系統初階概論_Ver1.4，台積廠務學院，2020。
[02] Air liquid FABSTREAM III user manual.
4.3 Slurry供應系統 [03] Chemical系統基礎概論_Ver2，台積廠務學院，2021。
[04] Slurry系統基礎概論_Ver2，台積廠務學院，2021。
六廠與新工處及廠商共同合作，改良開發新Slurry供應系
統，為結合新工處Slurry供應系統優點，以及符合六廠Slurry供 作者介紹
應需求進而設計出新產品。六廠Slurry Isis供應系統目前共有五
劉桐村 Tong-Cun Liu
套，已完成更新一套，目前上線使用功能測試穩定度皆正常。 Life is like riding a bicycle. To keep your balance, you must
keep moving. – Albert Einstein.
並陸續規劃往後Slurry供應系統更新作業。
新SDS架構主要可分為Drum Unit、Buffer Tank、Mixing 廖俊凱 Chris. Liao
Unit、Supply Unit四大部份。Drum Unit主要用為更換Slurry Don't count the days, make the days count. – Muhammad Ali
桶酸、自體循環以及補充Slurry至Buffer Tank。Buffer Tank為
Drum Unit以及Mixing Unit之間的緩衝站，主要功能為提供
Mixing Unit混酸所需的Slurry來源，並具備自體循環功能，
避免Slurry之間顆粒沉澱。Mixing Unit則是利用Beaker體積
比的方式來執行混酸作業，加入一定比例之Slurry原液以及
DI Water後，經由Pump執行循環動作，以達到充分混和，在
經由分析儀器確認導電度、pH值及比重於正常範圍內，才能
輸送至下一站Supply Unit。Supply Unit除了具備自體循環功
能外，最重要的是能將合乎規格之Slurry傳送至線上機台端。
Supply Unit供應動力主要為兩顆串聯之磁浮式Pump，藉由雙
磁浮式Pump以維持供應線上穩定平順之壓力(圖20)。

圖20、新Slurry供應系統比較圖

FACILITY JOURNAL 12 2021 53