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                                                                                                    技術專文


                                                  TSMC / FACILITY PUBLISHED
           VOL.44
                                                   廠務季刊


                                                     URL.http://nfjournal/



           廢硫酸去除雙氧水系統最佳化探討

           Optimization Of Waste H SO  Decrease H O  System
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           摘要 / Abstract

              本文以「最佳化探討」(Optimization)廢硫酸去除雙氧水系統，針對廢硫酸(W-H 2 SO 4 )去除雙氧水(H 2 O 2 )回收系統反應參數進
           行最佳化探討。本系統反應參數主要包括：①鹽酸加藥流量；②反應溫度；③操作負壓；④反應液位。
              除了探討反應參數，本文亦比較各廠的系統設計之間差異，包括桶槽形式、濕式洗滌塔形式與鹽酸加藥方式，並據以彙整
           提出廢硫酸去除雙氧水系統之系統最佳化設計及操作反應參數，以作為未來此系統規劃的參考。

           關鍵詞 / 廢硫酸、雙氧水、最佳化探討、反應參數、系統設計

              This paper uses "Optimization" of the system to remove hydrogen peroxide from waste sulfuric acid, and discusses
           the optimal recovery system parameters for waste sulfide(W-H 2 SO 4 ) removal of hydrogen peroxide(H 2 O 2 ). The reaction
           parameters of this system mainly include : ①salt dosing flow rate；②reaction temperature；③operating negative
           pressure；④reaction liquid level.
              In addition to the reaction parameters, this article also compares the differences between the system designs of
           various plants, including the tank type, the wet scrubber type and the salt dosing method, and the optimization design
           of the waste and waste purification hydrogen peroxide system is proposed based on the collection. And operating
           response parameters, as a reference for future system planning.

           Keywords / Waste Sulfuric Acid, Hydrogen Peroxide, Optimization, Reaction parameters, system design



           1.  前言

              廢硫酸主要用於光阻去除後之矽晶圓清洗，清洗後產生                       處理量，同時也減少了工業級硫酸的外購量。
           約45%~70%的廢硫酸，過去廢硫酸的處理方式為委由廢硫酸                         台積電廠務部水處理課廢硫酸去除雙氧水系統主要是藉
           處理廠商清運，或提供給廠務相關系統使用，但由於廢硫酸中                       由加入鹽酸作為催化劑，去除廢硫酸中的雙氧水，反應生成氯
           含有雙氧水成分，而雙氧水對廢水處理系統常用的逆滲透(RO)                     氣、氧氣與水。由於各廠所使用反應參數皆為該廠建廠試車漸
           薄膜會造成損壞，使其Life time快速下降，更會導致氨氮廢液                  漸演進而來，建廠系統設計及運轉反應參數不同，可能造成批
           去除系統所使用的薄膜蒸餾過濾(MD)氧化性破壞，使其無法                      次反應時間拉長，進而影響系統供酸，甚至可能導致系統反應
           有效去除氨氮 ，因此過去僅少量廢硫酸使用於廠務廠內鹼排                       槽、風管與濕式洗滌塔損壞。
           洗滌塔(AEX)之中和藥劑，其餘都委託廠商回收再利用。                           本文主要使用最佳化手法及收集各廠區運轉經驗探討廢
              本公司於民國104年成功導入廢硫酸再生系統，將雙氧水                     硫酸去除雙氧水系統反應參數，並比較各廠系統設計，據以彙
           濃度降低至<0.005%，並於民國105年起全面應用於各廠區，                   整提出此系統之系統最佳化反應參數及系統設計，作為未來此
           使廢硫酸得以在廠內與氨氮廢液結合循環使用，將原有需中和                       系統規劃的參考。
           的氨氮廢水轉為可用的資源—硫酸銨，除了降低廢硫酸委外

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