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Tech
Notes
技術專文
換之Loop上之機台轉移至其他相同Slurry Loop供應使用，利用
設備PM時轉移，可將機台停機時間縮短影響最少。至於供應
W8500 Slurry Loop因為只有單一Loop使用故無法以移星換位方
式進行。故提出方案二 : 物換星移法(圖11)：因目前Maga Slurry
供應系統中有一Loop目前沒再使用，故可將W8500 Slurry Loop
轉移至此，即可解決更換SDS系統時無W8500 Slurry可供應之問
題(圖12)。
圖8、化學供應系統通訊架構圖
圖10、BOC Isis K1730 Slurry機台切換示意圖
圖11、Isis W8500 Slurry機台切換示意圖
圖9、化學品供應系統更新流程圖
3.2.3 Slurry供應系統
目前六廠Slurry共有兩大供應系統，一是Maga Slurry供應
系統、二是BOC Isis Slurry供應系統，目前Isis Slurry供應系統
也面臨到供應廠商及零件短缺問題，但目前Isis供應系統硬體
設計存在許多問題，如系統無法執行強供等。故如果只單純更
新控制器將無法改善其Isis系統本身缺陷問題，最根本解決問
題方式是將整體Isis系統汰除，故如何在轉換過程中，使線上
影響降至最低將是最重要課題。
目前Isis系統共有5個Loop，其中4個Loop為供應K1730
Slurry共42台CMP機台，1個Loop為供應W8500 Slurry共20台
CMP機台。為了達到供應不中斷目的，將提出兩種方案。方案
一 : 移星換位法(圖10)：採取轉一換一方式進行，即先將欲更
圖12、Slurry供應系統更新流程圖
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