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皆有規畫相對應Check List，如 圖7所示。

圖5、強供模組示意圖

圖7、氣櫃控制器更新流程圖

3.2.2 Chemical供應系統
目前六廠化學品供應系統控制器主要使用微處理器設計
模式，且訊號傳遞採取Arcnet通訊模式，與台積目前新工處設
計之化學供應系統架構不同。因人力物力等風險考量，無法同
一時間修改所有化學品供應機台，故利用風險性以及用量大小
評估綜合風險(表5)，排定各化學品供應機台更換順序。同步

圖6、強供模組改善流程圖 改善舊有之強供系統，將原本複雜之強供方式，改良成「一鍵
強供」使強供方式更方便、快速、可靠。
化學品供應系統更新，首重通訊方式。由原本Arcnet通訊
目前F6P1 Gas Cabinet(GC)於建廠初期皆以微處理器作為
模式轉變為目前普遍之通訊模式Controlnet/Ethernet，將建立
控制器，但陸續原有供應商已停產且不再提供零件備品以及維
Master Panel及New SCADA以Ethernet網域串聯溝通，再建立
修，以至於日後控制器損壞將面臨系統無法復歸之窘境。故為
其ICP以Controlnet通訊方式連接(圖8)，用以取代目前OCP。
避免此事件發生，將於每年編列預算，逐步將舊有微處理器控
陸續持續規劃升級化學品供應機台之控制器(圖9)，以達到化
制器升級為PLC控制器。並可將舊有汰換下來之控制器暫時作
學品供應系統無痛升級之目的。
為零件備品，以防尚未升級更換之控制器之不時之需。
控制器相當於整個氣櫃之大腦，運轉之核心。當更換控
表5、化學供應系統控制器更新評估表
制器時將會使氣櫃失去控制能力將無法自動運作，故更換控
制器時必需仔細思考施工前、中、後應注意觀察事項。施工 化學供應系統控制器更新
化學品名稱 風險性(1-5) 用量大小(1-5) 綜合風險
前與廠商共同規畫控制器硬體設計配置，並確認軟體程式邏 Dev-1 5 5 25
輯。控制器完成後必須先於廠外測試整體鋼瓶更換程序以及 Dev-2 3 2 6
Thinner-1 5 4 20
相關安全作動機制，確認無誤後再安排入廠安裝動作。入廠 Thinner-2 3 2 6
安裝大致上可分為兩天，第一天主要為控制器硬體更換，更 HCl 3 3 9
4 4 16
H 2 O 2
換時要先確認是否完成強供，並盡量使兩邊鋼瓶與滿瓶狀態
H 2 SO 4 4 4 16
下更換(確認鋼瓶剩餘量)，且要隨時注意管末PT壓力，若管末 NH 4 OH 5 4 20
壓力降至Low Alarm將要立即採取相關應變措施。第二天主要
為氣櫃功能測試、安全作動機制及訊號回傳測試。以上動作

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