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4. 結果與分析
4.1 Special Gas供應系統
4.1.1 氣櫃製程氣體雙隔離閥
目前針對六廠需要改善之氣櫃共101櫃，目前78櫃已完
成修改(圖13~圖14)，陸續依照規劃預計於2023年全部修改完
成。截至目前為止已成功有效預防因製程氣體隔離閥內漏進而
污染製程氣體事件共三件，成功守護供應氣體之品質安全，減
少線上產品報廢危機。
As Was ToBe
圖13、三福GG500氣櫃畫面前後對照圖
圖15、強供模組修改前後對照圖
As Was ToBe
圖14、三福GG500氣櫃管路修改前後對照圖
4.1.2 氣櫃強供模組
改善前之強制供應氣體系統因需要將各別氣動閥之氣源
軟管執行拔插動作，故其程序較為複雜，經由TGM人員實
際操作下需耗時3分鐘，一旦發生嚴重之中斷供應氣體事件
圖16、氣櫃控制器更新前後對照圖
將無法在短時間內有效提供應有的氣體至現場設備機台端。
而使用改善後之氣櫃強供模組所需時間不需3秒鐘。確實能
4.2 Chemical供應系統
夠有效將時間縮短為原先之60分之一，減少設備機台斷氣危
機，提高危機時的反應能力，也可以有效的減少人在緊張的 4.2.1 通訊系統轉換
環境時所發生的人為操作失誤現象，提高啟動強制供應氣體 化學品供應系統將建立新通訊架構取代原本通訊模式，
系統效率(圖15)。至今確實已經數次成功搶救突發性氣櫃供 建立Master Panel以及ICP取代原本OCP，並建立New SCADA
應中斷之問題。 取代原本SCADA。目前Master Panel及New SCADA已建立完
4.1.3 氣櫃控制器更新 成，ICP取代OCP已完成96%(圖17)。
六廠三福GG500型的氣櫃共有101櫃，控制器皆為微處理 4.2.2 MDU控制器更新
器模式，目前已完成25台氣櫃控制器升級(圖16)，並將原有控
目前六廠MDU控制器為微處理器模式共有42台，目前已
制器零件做為備品，以備不時之需，並陸續規劃往後氣櫃控
完成10台MDU控制器升級(圖18)，並將原有控制器零件做為備
制器更新作業。更換下來之控制器零件，除了解決六廠舊有
品，以備不時之需，並陸續規劃往後MDU控制器更新作業。
氣櫃控制器零件問題外，還曾幫忙協助F2&5廠氣櫃控制器零
件短缺問題。
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