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Tech
Notes
技術專文

用工具及廠商主管作業觀察加強兩大面向使現場保養人員減少 作者介紹
漏氣風險並保障人員安全。
張景隆 Ching Lung Chang
好用工具(圖9)旨在協助現場人員判斷PM後的妥善率，並 畢業於國立台灣大學環境工程研究所，2019年於台積電F15A
就職，負責LSC系統，目前致力於穩定運轉並持續學習日新月
可查出微小的瑕疵，以案例三來說，由於CV的吸力不足導致 異的知識，Experience is the knowledge that enables you to
Powder Outgassing，為了加強CV的防禦，現場加大CV的氣罩 recognize a mistake when you make it again.
楓祥儀 Hsiang I Feng
增加抽取範圍，並於水槽新增CV並搭配壓力錶頭監控CV壓力 清華大學動力機械所畢業，2014年於台積電F15A就職，面對
是否充足；針對現場人員由DAS內部稽核單位定期入廠作業觀 空污環境零衝擊之挑戰，感謝主管與各課同仁一同努力與交
流，一步步往目標邁進，以實現綠色製造目的。
察，從不同於工程師角度檢視現場作業狀況。
楊竣凱 Jiunn Kai Yang
國立中興大學環工所畢業，目前負責LSC系統，致力於系統穩
定及空污改善規劃，朝著快樂廠務努力前進。
好用工具

DAS內部稽核單位作業觀察

圖9、好用工具及廠商主管作業觀察

5. 未來展望與結論
從廠內的實際運轉經驗，將多次物料異常的統計數據
進行分析並拓展到其他同質的原件，掌握機台的狀況在損壞
前提前更換，將廠內氫外洩的風險降至最低，從2021年初完
成改善至今，目前廠內皆無虛驚的案例發生，並將目前的
EPI LSC的運轉經驗可推展F16南京廠或更加先進的製程如果
同樣使用LSC處理高濃度的含氫尾氣(如Edward Helios或DAS
Stryax Duo)；在人員管理的方面透過好用工具、廠商主管作
業觀察及PM QC手法改進三方面精進現場保養品質，達到現
場人員目前現場0缺失。

參考文獻
[01] 黃耀中、黃財旺，從「小型天然氣重組製氫設備」談氫能設備的安全防
護，台灣中油股份有限公日煉製研究所。

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